结构加工装备样机高精度工件台技术研发招标预告
招标预告
| 发布时间 | 2020-07-13 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 125.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
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| (略) 光 (略) 跨尺度微纳结构加工装备样机高精度工件台技术研发采购项目 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | (略) 光 (略) 跨尺度微纳结构加工装备样机高精度工件台技术研发采购项目 |
| 预算金额： | * . *** 万元(人民币) |
| 采购品目： |
C *** 物理学的研究和试验开发服务,A *** 金属质架类,A *** 玻璃制光学元件 |
| 采购需求概况： |
国家重点研发计划“纳米科技”重点专项项目“基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究”的研究工作中， (略) 作为课题 * 承担单位，负责跨尺度光刻样机研发任务。 (略) 光 (略) 是本项目协作单位， * 年来 * 直参与本项目跨尺度光刻样机的研发工作。 (略) (略) (略) 光 (略) (略) 完成了光刻样机设计图稿， (略) 件采购、加工和系统集成等最后攻关阶段。为保证项目的顺利实施，作为该项目课题 * 承担 (略) (略) 光 (略) 签订《跨尺度微纳结构加工装备样机高精度工件台技术研发》技术开发（委托）合同，金额 * 万。鉴于项目实施期限为 * 年6月，为了保证项目能够按时完成研究目标和任务，需要采用单 * 来源采购。需求清单：1）直线电机（Tecnotion UM-9系列）及驱动器2套（ELMO G-TW * 系列）；2）直线光栅3套（RSF MS * 系列，分辨率 * nm）；3）PI * 自由度微动台（P- * .6CD 含压电陶瓷促动器、电容传感器和机械结构）及控制系统（PI E- * ）1套；4）PI精密转台（M- * 含电机、编码器和机械结构）和配套控制系统（C- * ）1套；5）Sigma物镜台（SGSP-OBL）和配套控制系统（GSC- * ）1套；6）Agilent双频激光干涉仪1套：a) 激光头 * B；b) 电源 * 4B；c) 激光头线缆-3m * 1A；d) 接收器线缆-5m * 0A；e) 接收器 * 0C；f) 平面干涉镜 * 6B；g) * 轴电路板 N * A；h) 转向镜 * 7A；i) * %分光镜 * 1A；j) * %分光镜 * 0A。7）机械加工（含装配调试）若干套：a) 干涉仪Y向L板( * mm x * mm x * mm)2套；b) 转台转接板 ( * mm x * mm x * mm) 1套;c) 条镜调整手轮座（ * mm x * mm x * mm）4套；d) 交叉滚柱导轨（THK VR4_ * x * Z_0）4套e) 光栅读数头转接件（ * mm x * mm x * mm）2套f) L型镜压片（ * mm x * mm x * mm）6套g) X动板（ * mm x * mm x * mm）1套h) Y动板（ * mm x * mm x * mm）1套i) 4存承片台（底面直径 * mm，高9.8mm）8）方镜加工（含材料、镀膜和检测） * 批：a) 尺寸： * × * × * b) 材料：微晶玻璃；c) 镀膜： * nm反射膜(反射率＞ * .9%)；d) 面型：1/ * 波长（PV）； |
| 预计采购时间： | *** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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