序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 | 1 | 金刚石线切割机,采用 (略) 切割,切割质量优良。线速度0~5m/s,最大线速度不低于5m/s,电机参数AC * v * Hz * w,切割线总长度(不小于) * m | 非常重要 | 是 |
2 | 电动角位台角度调节范围± * 度,旋转角度0- * 度,重复定位精度0. * 度, (略) 程(不小于) * mm,, (略) 程(不小于) * mm,样品最大直径 * mm | 非常重要 | 是 |
3 | 张紧结构为气动张紧0.1-0.4MPa范围可调 | 重要 | 否 |
4 | 可测定单晶材料的峰位角和半峰宽(FWHW)值,判断晶面完整性。 | 重要 | 否 |
5 | 最大管电压 * kV,管电流0-5mA连续可调。闪烁探测器,工作电压最高为DC * V。 | 非常重要 | 是 |
6 | X射线管铜靶,风扇冷却,阳极接地。测定角度:2θ=- * ~ * °,θ=-5~ * °。 | 重要 | 否 |
7 | 主工位自动测量晶片晶向,单晶回摆曲线测定的 * 侧精度为±5″,晶体角度定向的 * 侧精度为± * 〞,最小读数1″,标准石英片 * ī1面多次测量角度重复性≤±1″。 | 重要 | 否 |
8 | 定向仪器具备双工位。副工位人为摇动手轮判断晶向峰值,晶体角度定向的 * 侧精度为± * ″。双工位均具备 * 面防护罩。 | 重要 | 否 |
9 | 配置清单:1、切割机配备电动 * 维调节台(电动转台、电动角位台);2、聚 * 烯(PE)张紧轮2个;3聚 * 烯(PE)导向轮2个;4、金刚石线2卷;5、水泵1台;6 金刚石线切割机主机1台;7 单晶回摆曲线定向仪1台 | 重要 | 否 |
* | 设备故障时供应商 * 小时响应, * 小时上门维修,不定期上门服务。2天以上设备培训, (略) 分留有录像 | 重要 | 否 |