关于安徽芯元基半导体科技有限责任公司《年产240万片第三代半导体GaN基DPSS衬底及12万片UVA芯片项目》环境影响评价文件拟审批意见的公示

拟批准环境评价报告书、表的项目

项目名称：

年产 * 万片第 * 代半导体GaN基DPSS衬底及 * 万片UVA芯片项目

建设地点：

(略) 技术产业开发区 * 峰路以南、 * 子路以西、潇湘路以北

建设单位：

(略) 芯元基半 (略)

环评影响评价机构：

(略) (略)

项目概况：

(略) 芯元基半 (略) 年产 * 万片第 * 代半导体GaN基DPSS衬底及 * 万片UVA芯片项目位于 (略) 技术产业开发区 * 峰路以南、 * 子路以西、潇湘路以北 ，计划投资总投资 * 0万元，占地约 * 亩，拟对位于 * 峰路以南， * 子路以西，潇湘路以北园区内B4#、B8# (略) (略) 房装修和机电改造，新建氮气储罐及附属配套设施，购买键合设备、STEPFR光刻机、ICP、ITO、PECVD设备、蒸镀机、刻蚀机、酸碱清洗系统、甩干机、刻片机等 * 台套工艺设备，年产 * 万片第 * 代半导体 GaN基DPSS衬底及 * 万片UVA芯片产能项目。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1、加强废气污染防治管理。厂区应 (略) ，做到生产作业区与生活办公区分开。ICP刻蚀废气配备4套 (略) 理器（ICP-scrubber）处理再进入再进入酸性 (略) 理，沉积废气配备的6套PE (略) 理器（燃烧桶+ (略) 理器）处理后再进入酸性 (略) 理，酸碱废气拟配备1套喷淋 (略) 理后通过1根 * m排气筒高空排放；光刻、有机清洗废气经1套采喷淋塔+干式过滤+两级 (略) (略) 理设备， (略) 理后的有机废气通过 * m的排气筒。涉废气的酸碱清洗和光刻、有机清洗等生产车间设计为全封闭洁净车间， (略) 设有吸风管道收集废气。确保项目废气排放符合《大气污染物综合排放标准》DB * / *** 表1和表3排放标准、《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB * / *** ）表2和表4排放标准要求， (略) 业大气污染物 (略) 后， (略) 。

2、加强废水污染防治管理。厂区排水应按雨 (略) 设计建设，严禁违法乱排废水。生活污水 (略) 理后 (略) ；含总镍、总银、总铬等 * 类污染物的污染 (略) 分类收集、在车间排放口达《电子工业水污染物排放标准》（GB *** 0）表1间接排放限值后再专管专送至综 (略) (略) 理；含氟废水经 (略) 预处理后再排入综 (略) (略) 理；有机废水经 (略) 处理后再进入综 (略) (略) 理；其余酸碱废水直接进入综 (略) (略) 理； (略) (略) 理喷淋补充水， (略) 分和 (略) (略) 理后的废水在放流池调节均质后 (略) (略) (略) (略) 理。在车间排放口（DW * ）设置总镍、总银、总铬等 * 类污染物在线监测设施；在厂区总排放口（DW * ）设置流量及pH、COD、氨氮等污染物在线监测设施。在线监测设 (略) (略) 。入网废 (略) 《电子工业水污染物排放标准》（GB *** 0）中表1间接排放限值（其 (略) 直接排放限值）、表3 (略) (略) 理厂接管限值要求（其中 * 类污染物总银、总镍、总铬在车间排放口或配套独 (略) 理站排放口取样。）。

3、加强噪声污染防治管理。选用低噪声设备，高噪声设备安装防震垫；生产车间封闭，安装隔声门窗，利用建筑物、构筑物形成噪声屏障，阻碍噪声传播；加强设备日常检修和维护，以保证各设备正常运转，以免由于设备故障原因产生较大噪声；同时加强生产管理，教育员工文明生产，减少人为因素造成的噪声，合理安排生产。项目噪声贡献值满足《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB *** 8）3类标准要求。

4、加强固体废物污染防治管理。在厂区内应按要求分别建设 * 般固废暂存间和危废暂存间。危废暂存间应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB *** 1）及 * 年修订要求建设与管理。切实做好生产固废分类收集、贮存、处置与运输管理工作， (略) 内长期堆存，不得再产生 * 次污染。其它废包装材料（不含包装桶/瓶）收集后外卖综合利用；纯水制备的废过滤和渗透材料由设备维 (略) 理；各类废液、废光刻胶、 (略) 理产生的污泥、 (略) 理产是的废活性炭、废有机溶剂 (略) (略) 理；职工生活垃 (略) (略) 理。

5、加强污染物排放总量控制管理。本项目污染物总量控制指标核定为：废气污染物颗粒物0. * t/a（有组织排放量）、VOCs1. * t/a（有组织排放量）、NOx0. * t/a（有组织排放量）；废水污染物总镍 * g/a、总银 * g/a、总铬6g/a。你公司应加强污染物排放总量控制管理，严禁超总量排放。

公众参与情况：

环评文件编制期间在 (略) (略) 进行了全本公示，公示期间无人提出反对意见。

建设单位 (略) 作出的相关环境保护措施承诺文件：

相关文件：

听证权利告知：

依据《中华 (略) 政许可法》，自公示起 * 日内申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

(略) 门：

环保窗口

受理地点：

(略) (略) 服务窗口

联系电话：

***

电子邮箱：

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