低压力化学气相沉积仪招标公告

(略) 条件。资金来源自筹资金。 (略) （ (略) ） (略) （招标代理机构）受 (略) (略) 计量测 (略) （招标人）的委托， (略) 采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：低压力化学气相沉积仪

1.2 招标编号： *** A *

1.3 设备技术性能：

1.3.1 该炉管设备包含高温氧化和低压化学气相沉积2根水平炉管分别为：干氧化和湿氧化生长氧化硅炉管、可控比氮化硅和低应力氮化硅炉管，同时预留额外2根炉管架构用于工艺升级（分别用于多晶硅和TEOS氧化硅沉积工艺）， * 根炉管之间的控制相互不受影响，关闭任意 * 套控制，其它 * 套不受任何影响；

1.3.2 每根炉管加热器选用APM加热元件，最高加热温度 * ℃；

1.3.3 氧化炉管配置SiC炉管，满足高温氧化要求。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同签订生效后 * 天内完成交付验收。

1.6 (略) ：中国 (略) （ (略) 计量测 (略) ） (略) 。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2. (略) (略) 登记才具有投标资格； (略) 文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于 * 日至 * 日 * 时( (略) 时间)，购买招标文件后登 * 航空工业电子采购平台（http:/ *** ） (略) 文件，现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线 *** 0。

3.2 招标文件售价 * 元，售后不退。 (略) (略) （ (略) ） (略) （ (略) ： (略) (略) 支行；帐号： *** ）。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 * 日 * 时 * 分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（http:/ *** ）并在 (略) 递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为 (略) 市 (略) 区金沟河路与采石北路交叉口东南角 * 号大楼 * 层会议室。逾期送达的、 (略) 文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

5发布公告的媒介

(略) 同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区、 (略) 采购平台、 (略) 投标公共服务平台上发布。

6.联系方式

招标人名称： (略) (略) 计量测 (略)

地址： (略) 市 (略) 区太舟坞

联系人：冯梁森，王赛

电话： *** ， ***

招标代理机构名称： (略) （ (略) ） (略)

地址： (略) 市 (略) 区金沟河路与采石北路十字路口东南角 * 号大楼 * 层

售卖联系人：刘女士

电话： ***

传真： ***

邮箱： * * .com

* 日