广东中科半导体微纳制造技术研究院2022年03月至2022年04月政府采购意向
招标预告
| 发布时间 | 2022-03-11 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 10.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定，现将本单位2022年03月至2022年04月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超声清洗机 | 标的名称：超声清洗机 标的数量：1 主要功能或目标：1.8英寸以下兼容； 2.超声功率：≥100W； 3.加热功率：≥400W； 4.温度可调范围：室温-80℃； 5.时间可调：1-480min； 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 100, *** | 2022年04月 | |
| 2 | 甩干机 | 标的名称：甩干机 标的数量：2 主要功能或目标：1.4寸以下兼容； 2.工作腔数量：双腔； 3.旋转速度 ：100～2400r/min； 4.氮气压力：0.23～0.28MPa； 5.去离子水压力： 0.25～0.3MPa； 6.氮气加热温度：80℃±10℃ 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 600, *** | 2022年04月 | |
| 3 | 甩干机 | 标的名称：甩干机 标的数量：2 主要功能或目标：1.8寸以下兼容； 2.工作腔数量：2； 3.旋转速度 ：300-2800 r/min； 4.氮气压力：0.3 Mpa； 5.去离子水压力：0.3Mpa； 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 800, *** | 2022年04月 | |
| 4 | 场发射扫描电子显微镜 | 标的名称：场发射扫描电子显微镜 标的数量：1 主要功能或目标：1）场发射电子枪；2）1kV最高分辨率≤1.6nm，15kV达到1.0nm；3）高分辨能谱仪系统 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,200, *** | 2022年04月 | |
| 5 | 金属剥离机 | 标的名称：金属剥离机 标的数量：2 主要功能或目标：兼容6/8英寸样品的剥离工艺。设备配置浸泡腔和清洗腔，配置3种以上清洗液，具有二流体喷嘴和兆声波清洗，剥离效果优异，无残胶，无明显损伤。 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,300, *** | 2022年04月 | |
| 6 | 膜厚仪 | 标的名称：膜厚仪 标的数量：1 主要功能或目标：通过薄膜上下层的反射光，测量薄膜的厚度和光学常数（n、k）。 兼容4/6/8英寸样品的测试。可测量薄膜厚度范围5nm-40um；精确度0.2%。 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 600, *** | 2022年04月 | |
| 7 | 湿法台 | 标的名称：湿法台 标的数量：1 主要功能或目标：应用于Si、GaN晶圆的有机、无机湿法清洗；半导体芯片工艺中的腐蚀、 (略) 理等湿法工艺。 需满足的要求：1)6/8寸晶圆兼容2)自动/半自动清洗功能。 3）具有加热、循环、抛动功能 4）具有喷淋、溢流、鼓泡功能 5）具有晶圆脱水干燥功能。 6）供液系统可循环过滤。 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 25,000, *** | 2022年04月 | |
| 8 | 去胶机 | 标的名称：去胶机 标的数量：2 主要功能或目标：兼容6/8英寸样品的表面去胶工艺。设备配置浸泡腔和清洗腔，配置3种以上清洗液，具有二流体喷嘴和兆声波清洗，清洗效果优异，无残胶，无明显损伤。 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,300, *** | 2022年04月 | |
| 9 | 台阶仪 | 标的名称：台阶仪 标的数量：1 主要功能或目标：1）扫描长度≥55 mm； 2） (略) 允许的样品厚度≥50 mm； 3）垂直方向的扫描范围≥1000 μm； 4）测试高度方向的重复性≤0.5 nm（1 μm的标准台阶，2 μm的探针）； 5）测试垂直分辨率≤0.1 nm； 6）XY移动载物台，X≥150 mm行程，Y≥150 mm行程； 7）样品台尺寸：200*200 mm，可以真空吸附32*32 mm-200*200 mm的样品； 8）探针压力：1-15 mg能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品； 9）提供获得认证的校准用标样； 10）系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性； 需满足的要求： | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 800, *** | 2022年04月 | |
| 10 | 椭偏仪 | 标的名称：椭偏仪 标的数量：1 主要功能或目标：应用于半导体外延层(包括化合物材料)、光刻胶和金属的透明/半透明、单层/多层、各向同性/异性等薄膜的膜厚、折射率和消光系数的测量。 需满足的要求：1)波长范围190-1700nm；2)厚度测量范围：5nm-1μm；3)样品直径200mm，向下兼容。 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 600, *** | 2022年04月 | |
| 11 | 砂轮划片机 | 标的名称：砂轮划片机 标的数量：2 主要功能或目标：（适用8英寸样品），能够加工Si，GaAs，Ge片，陶瓷等材料。切割速度:0.1-600mm/s,定位精度0.002 mm以内，最小步进量：0.0001mm，重复精度：0.001 mm以内，能够切换硬软刀。 需满足的要求：可动触摸式液晶显示器，主轴配置参数：对向式双主轴，额定功率：1.2 at 60,000 min-1 KW，最大转速： *** min-1，标准对应刀片直径：58mm。 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,000, *** | 2022年04月 | |
| 12 | 硅晶圆激光切割机 | 标的名称：硅晶圆激光切割机 标的数量：1 主要功能或目标：（适用8英寸及以下样品），能够加工Si材料。 需满足的要求：1.设备构成：激光器， 加工台面，X轴马达，冷却单元，自动传送单元，变压器，易耗配件，并具备图像识别功能。2.X轴切割速度:≤500 mm/s, Y轴切割速度:≤800 mm/s，定位精度≤1um，复精度：≤1um，分辨率：≤0.1um旋转角度：≤120°，分辨率：≤0.002°。Z轴焦距范围：0-15mm，工作台平整度：≤0.5um/300mm。 | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 4,000, *** | 2022年04月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2022年03月11日
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