TALD-150R原子层沉积机（JJ20220664）废标公告
招标变更
| 发布时间 | 2022-06-13 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 详见内容 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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| 潜在报名单位
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| 招标单位 | 点击查看 | ||
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
| 项目名称 | TALD-150R原子层沉积机 | (略) | JJ *** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | *** | 公告截止日期 | *** |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | 货到付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签订120个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | (略) 虎溪校区第一实验楼量子实验室1楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积机 | 1 | 套 | 电工器材 |
| 品牌 | 嘉兴科民电子 |
|---|---|
| 型号 | TALD-150R |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.腔室与样品台参数：水平流单腔腔室，腔盖有保温隔热套；样品台:需配有可拆卸片托，可放晶圆尺寸不小于6英寸；反应温度：最高温度不低于400℃，温度控制精度不高于±1℃；2.源参数： (略) 加热液态前驱体源，配置高温快速ALD阀，响应时间＜10ms；配置手动阀、不锈钢源瓶，源瓶体积不小于50ml； (略) 加热温度范围不小于室温-200℃，控制精度不高于±1℃；至少配 (略) ，配置快速ALD阀，响应时间＜10ms；配置手动阀、不锈钢源瓶，源瓶体积不小于50ml；3.气路参数： (略) 载气系统， (略) ，VCR密封，且 (略) 具有在线清洗功能；需预留臭氧接口；4.真空系统：整机极限真空不高于5E-3Torr，真空漏率不高于5E-7 Pa·L/S；真空泵：额定抽速不低于16m3/h，泵前配置有截止阀；真空泵前级配置热阱，加热温度不低于500℃，控制精度不大于±1℃；真空计：真空计前设有高效过滤网以及气动隔膜阀；5.控制系统：自动控制系统，满足高精度ALD沉积需求；可视化的操作界面，实时 (略) 分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式至少包括连续模式、停流模式；6.工艺参数.:需满足如下工艺要求为达标，未达标视为不满足此条，试样需提供招标方与第三方验证后有效：（1）在 6 英 (略) 家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少 5 个均匀分散点（上、下、左、右、中心 5 点，每两点间距不小于 15 毫米）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为达标；（2）在 6英 (略) 家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铪，以晶圆上至少 5 个均匀分散点（上、下、左、右、中心 5 点，每两点间距不小于 15 毫米）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1.5%为达标； |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期限:1年;响应时间:12小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;发票类型:增值税专用发票;质保金:无; |
信息来源：https:/ *** 94
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