中山大学2022年11月政府采购意向-集成电路学院场发射扫描电镜(SEM)采购-A02100301显微镜-预算金额391.680000万元(人民币)
发布时间 | 2022-10-10 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 391.68万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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(略) 场发射扫描电镜(SEM)采购 | |
(略) 在采购意向: | (略) 2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) 场发射扫描电镜(SEM)采购 |
预算金额: | *** 00万元(人民币) |
采购品目: | A *** 显微镜 |
采购需求概况: | (略) 拟采购场发射扫描电镜(SEM)1套。主要技术指标:分辨率二次电子像0. @@@ 5KV,1. @@@ KV(非样品台减速模式),在低电压观察模式下样品台可以倾斜; (略) 采用非交叉束设计;放大倍率8倍-200万倍,根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需模式更换;加速电压0.02kV~30kV,步进≤10V,连续可调,无需模式更换;电子枪配置肖特基热场发射灯丝,能够自动聚焦,具有倾斜校正功能;探针电流范围3pA-20nA,束流稳定度≤0.2%/h;静电透镜与磁透镜组合,镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测,以及EBSD不更换模式的使用;配置数量为7孔的物镜光阑,系统控制软件可自动控制光阑孔可更换与对中;能谱仪最佳分析工作距离为8.5 mm,X射线出射角35°; (略) 尺寸不小于360mm(左右宽度)×360mm(前后进深),样品室内高度不小于270mm; (略) 全自动马达驱动样品台,样品台水平方向最大移动范围X轴为130 mm,Y轴为130mm,马达台Z轴最大移动行程为50mm,倾斜范围为-4°~+70°,可360°旋转;配置可快捷控制马达台五个轴向移动的双摇杆系统,配置多功能旋钮操作控制面板;工作距离可调范围0.1mm~50mm;配备样品室内二次电子探测器ETSE;配备镜筒内环形二次电子探测器, (略) 正光轴上, (略) 穿过 (略) ,探测器 (略) 一侧;配备样品室内可抽拉式6分割背散射电子探测器;配置样品室内彩色红外CCD相机探测器,可实时监控样品室内样 (略) 件之间的相互位置关系;配置样品电流检测器;电子束在特定位置扫描时,可同时开启成像探测器中的任意两个或者四个探测器同时成像,获得样品全方位信息;配备全无油真空系统;配备配备必要的机械干泵、分子泵、离子泵等,自动抽真空,完全气动阀自动控制;样品室真空度优于10-4Pa量级,电子枪真空度优于10-7Pa量级;标准模式下,无需拼图单幅图像最大存储分辨率为32k×24k像素;可自动调节功能包含电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、漂移矫正、倾斜补偿; (略) 理系统一套,基于Windows10操作系统的图形用户界面;配备电制冷能谱仪;配备电子背散射衍射仪;可配置主流的EBL,实现电子束曝光功能。交付时间:合同签订或收到发货通知30天内。交付地点: (略) 深圳校区理学园。售后服务要求:3年质保期,对所提供的货物在质保期内,因产品质量而导致的缺陷,必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。