中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院场发射扫描电镜采购项目-A032103电子工业专用生产设备-预算金额250.000000万元(人民币)
发布时间 | 2022-10-13 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 250.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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电子 (略) 场发射扫描电镜采购项目 | |
(略) 在采购意向: | (略) 2022年11至12月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 电子 (略) 场发射扫描电镜采购项目 |
预算金额: | *** 00万元(人民币) |
采购品目: | A *** 电子工业专用生产设备 |
采购需求概况: | 1.场发射扫描电子显微镜技术参数1.1 电子光学系统1.1.1 分辨率:二次电子像不低于:1.0 nm / 15kV;1.1.2 镜筒束流采用非交叉束设计;1.1.3不低于1.6nm / 1kV,非样品台减速模式,在低电压下可以观察断面、样品台倾斜、在原位实验时使用并且高分辨成像。 1.1.4 放大倍率:10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准,低倍率与高倍率无需模式更换;1.1.5 加速电压:0.02kV ~ 30 kV,步进≤10V, 无需模式更换;1.1.6电子枪:肖特基热场发射电子枪;1.1.7电子束流:最大束流不低于20nA,束流稳定度优于 0.2 %/h1.1.8 磁透镜和静电透镜组成的复合镜筒;1.2 样品室及样品台1.2.1 样品室: (略) 直径不小于365mm, 高度不小于275mm ;1.2.2 五轴全自动马达驱动样品台:移动最大范围指标: X≥125mm,Y≥125mm, Z≥50mm,T=-10°~ +90°(倾斜),R=360°(旋转);1.2.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板; 1.3 探测器: 1.3.1样品室内二次电子探测器;1.3.2配备镜筒内环形二次电子探测器, (略) 正光轴上, (略) 穿过 (略) ,探测器 (略) 一侧。;1.3.3 样品室彩色 相机; 1.3.4高灵敏度5象限背散射电子探测器;1.4 真空系统 1.4.1 机械泵1.4.2 分子泵和离子泵;1.4.3 样品室真空度:高真空模式优于2×10-4 Pa;1.5 数字图像记录系统1.5.1测量和标注输入:可在图像上实现尺寸测量和标注输入;1.5.2 图像记录:TIFF, BMP,JPEG。1.5.3 扫 (略) 系统一套。1.5.4 单张照片最大存储分辨率 32K*24K1.6 操作系统1.6.1 操作方式:旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标;可自动调节:电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿;1.6.2 具有双通道功能,双屏幕显示不同探测器拍摄的图像;1.6.3 应具有样品台图像导航功能;交付时间要求:合同签订后15个月内;交付地点要求: 广州海关售后服务要求:在质保期内,24小时内电话响应,96小时内到达现场。包含装机服务,和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。