半导体先进装备研发及国产化项目-审批拟批准情况公示
审批公示
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| 项目名称： | 半导体先进装备研发及国产化项目 | |
| 建设地点： | (略) 西海 (略) 黄岛区牧马山路11号4#厂房 | |
| 建设单位： | 青岛四方 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 汇清（山东） (略) | |
| 公示时间： | **日 至 **日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区牧马山路11号4#厂房，租赁青岛 (略) 现有厂房（占地面积1992m2，建筑面积7968.3m2）进行建设、生产。主要建设内容：建设设备组装生产线、设备镀膜测试生产线。主要生产设备与设施：直联高速旋片式真空泵2台、水冷机3台、射频电源3台、涡旋式空压机1台、探针台1台、静音无油空压机1台、椭偏仪1台、退火炉1台、双级旋片式真空泵1台、漩涡风机1台、蒸镀机1台、真空泵1台、检漏仪1台等。项目建成后生产规模：组装设备60台/年，组装后年镀膜测试1400片。 项目总投资2237万元，其中环保投资20万元。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目产生的废气、噪声、固废等将对周边环境造成一定的不良影响，设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。项目无工业废水产生， (略) 政污水管网排入龙泉河污水处理厂处理。外排废水执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中相应标准限值要求，其中氨氮排放浓度执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中相应标准限值要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，采取防渗、防漏、防腐措施，防止污染地下水和土壤，对工程设计、施工相关档案资料存档。 （二）严格落实大气污染防治措施。 本项目废气主要为镀膜废气，废气通过真空管道直接送入尾气处理设施。镀膜废气中有机废气经尾气处理设备TA001处理后，再经过活性炭吸附处理，通过20m高排气筒DA001排放；其他废气经尾气处理设备TA002处理后，通过20m高排气筒DA002排放。 废气排放执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）、《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中相应标准要求。 项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期更换尾气处理设备滤芯、活性炭等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。 （三）严格落实噪声污染防治措施。生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。废滤芯、废机油、废机油桶、镀膜晶圆废样、废活性炭等暂存于新建5m2危废暂存间内，委托有危废处置资质的单位处置；废包装材料等暂存于新建5m2一般工业固废暂存间内，外售综合利用或处置；职工生活垃圾分类收集后定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，编制突发环境事件应急预案并向我局备案。对环境污染防范设施依法依规开展安全风险评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产主管部门。配备充足的环境应急物资，加强应急培训和演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 （六）严格落实《报告表》提出的环境管理与监测制度。建立健全环境管理制度，明确专人专责，加强环境日常管理，确保设施正常运行，实现污染物稳定达标排放。按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》等规定设置规范的污染物排放口和标志牌，废气排气筒设置永久采样孔、监测采样平台。 （七）建立畅通的公众参与途径，主动接受社会监督，并及时回应和解决公众关切的环境问题，切实维护公众合法的环境权益。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸新区双珠路166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
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