山东大学2023年9至10月政府采购意向-原子层刻蚀设备电子工业生产设备,A-预算金额万元人民币
发布时间 | 2023-09-15 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 450.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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原子层刻蚀设备 | |
项目所在采购意向: | 山东大学2023年9至10月政府采购意向 |
采购单位: | 山东大学 |
采购项目名称: | 原子层刻蚀设备 |
预算金额: | 450.*万元(人民币) |
采购品目: | A* 电子工业生产设备,A* 电子工业生产设备 |
采购需求概况: | 采购原子层刻蚀设备1台,产品需实现大尺寸(八寸及以下)、低刻蚀速率(≤5nm/min),高均匀性(≤±5%)、高厚度重复性(≤±3%)的材料刻蚀,满足功率器件低损伤、低速可控的刻蚀工艺。 |
预计采购时间: | 2023-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。