电子科技大学-竞价公告
采购信息
| 发布时间 | 2023-11-09 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 详见内容 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
申购单号:CB*
申购主题:SG*ALD原子层沉积系统
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后3天内签约合同
送货时间:合同签订后10天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /郫都区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG*ALD原子层沉积系统 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 科民电子 | ||
| 型号 | TALD-200 | ||
| 规格参数 | 1、具有外热式反应腔体，样品台配有可拆卸片托，样品尺寸最大8英寸，兼容厚度0.1-2.2mm的玻璃、硅基、刚性、柔性基板；2、反应温度最高150℃，温度控制精度±1%℃；3、具有3路标准加热液态前驱体源系统，1路常温源，1路臭氧源；4、具有两路载气系统，前驱体源管路具有在线清洗功能；5、具有高性能真空系统，整机极限真空空＜5×10-2Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S；6、具有高精度沉积自动控制系统；7、具有3个金属源瓶、1个水源源瓶。 | ||
| 质保及售后服务 | 1. *方应对*方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理*方要求，在2小时内做出响应，如须现场解决问题，48小时内到达现场。2. 在仪器到货后，*方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。3. 保修期为自验收合格之日起一年，除耗材和由于*方原因导致设备损耗以外都保修。一年内提供至少1次校准及标准保养服务。4. 负责向*方提供最新的仪器应用和最新技术资料。 | ||
信息来自：http://**#http://**
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