等离子体系统
采购信息
| 发布时间 | 2023-11-21 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 详见内容 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
| 项目名称 | 等离子体系统 | 项目编号 | XJD* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ** 17:00:48 | 公告截止日期 | ** 12:00:00 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内送达 | 到货时间要求 | 合同签订后7天内送达 |
| 预算总价 | 币种 | 人民币 | |
| 收货地址 | (略) 碑林区 | ||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单 1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 等离子体系统 | 1.00 | 套 | 无 |
| 品牌 | SUPERALD |
|---|---|
| 型号 | PE200 |
| 预算单价 | |
| 规格参数 | 一、射频电源 1.射频电源 1.1.频率：13.56MHz； 1.2.功率≥1000W； 1.3.冷却方式：风冷； 1.4.功率输出稳定度≤10W； 1.5.调节精度≤10W； 1.6.功率转化效率≥65%； 1.7.杂散功率抑制≥-60dBc； 1.8.谐波抑制≥-50dBc； 2.等离子体工艺启辉窗口； 2.1.功率范围：30-1000W； 2.2.压力范围：0.05-1.0Torr。 二、匹配器 1.配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间； 2.配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。 三、隔离装置 1.具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置。 四、其他 1.采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源； 2. 配备2路气体管路，包含N2和H2； 3.每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器； |
| 售后服务 | 1.电话支持服务：提供7×24小时电话支持服务，负责提供技术问题的解答和技术指导。 2.维护响应时间：收到用户的维修服务要求后48小时内做出现场响应。 3.保修期内，设备的所有零配件费用、人工费用、差旅费用均由供应商承担。 4.设备保修时限： (略) 验收合格起整机保修12个月。 |
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