南京大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
发布时间 | 2023-11-25 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 400.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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感应耦合等离子体刻蚀机 | |
项目所在采购意向: | 南京大学2023年12月政府采购意向 |
采购单位: | 南京大学 |
采购项目名称: | 感应耦合等离子体刻蚀机 |
预算金额: | 400.*万元(人民币) |
采购品目: | A* 其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 南京大学拟采购感应离子耦合刻蚀(ICP)设备一台,能够在制造微纳结构与器件的加工中进行高精度的刻蚀,需具备稳定可控的离子源,能够提供高速率、高选择比以及低损伤的刻蚀,并保证加工表面的均匀性和平整度;能够应用于常见的介质层、半导体材料以及金属的刻蚀。主要采购需求如下: 1.ICP和衬底偏压两个独立的射频源; 2.兼客6寸及以下晶圆;3.具备快速气体清洗系统;4. 工艺温度范围:25-200℃;5. 至少配备8路工艺气路,包括耐腐蚀气路;6. 质保期:1年。 |
预计采购时间: | 2023-12 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。