南京大学2023年政府采购意向公开第46批-多腔互联多功能物理气相沉积设备
招标预告
| 发布时间 | 2023-11-25 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 500.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京大学2023年政府采购意向公开（第46批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 多腔互联多功能物理气相沉积设备 | * | A* 其他试验仪器及装置 | 南京大学拟采购多腔互联多功能物理气相沉积系统设备一台，能够在集成电路先进工艺中进行金属、导电材料、氮化物和氧化物的高质量沉积，需具有超高真空磁控溅射和超高真空电子束蒸发两种设备，经过进样室连接。主要采购需求如下: 1. 每个腔体都是超高真空腔体；2.兼客6寸及以下晶圆；3.配备原位膜厚监测；4. 工艺温度范围:室温-800℃；5.磁控溅射配备直流和射频电源；6. 每个磁控溅射腔体配备不少于4个磁控溅射靶枪；7. 样品台可旋转；8. 电子束蒸发腔体配备不少于3个坩埚； 9. 质保期:3年。 | 500 | 2023年12月 | |
| 2 | 反应离子刻蚀机 | * | A* 其他试验仪器及装置 | 南京大学拟采购反应离子刻蚀(RIE)设备一台，能够在制造微纳结构与器件的加工中进行高精度的刻蚀，需具备稳定可控的离子源，能够提供高速率、高选择比以及低损伤的刻蚀，并保证加工表面的均匀性和平整度；能够应用于常见的半导体材料以及金属的刻蚀。主要采购需求如下: 1.具备高功率的射频发生器，以产生稳定的离子源； 2.兼客8寸及以下晶圆；3.具备快速气体清洗系统；4. 工艺温度范围:10-40℃；5. 至少配备5路工艺气路，包括耐腐蚀气路；6. 质保期:1年。 | 240 | 2023年12月 | |
| 3 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | * | A* 其他试验仪器及装置 | 南京大学拟采购感应离子耦合刻蚀(ICP)设备一台，能够在制造微纳结构与器件的加工中进行高精度的刻蚀，需具备稳定可控的离子源，能够提供高速率、高选择比以及低损伤的刻蚀，并保证加工表面的均匀性和平整度；能够应用于常见的介质层、半导体材料以及金属的刻蚀。主要采购需求如下: 1.ICP和衬底偏压两个独立的射频源； 2.兼客6寸及以下晶圆；3.具备快速气体清洗系统；4. 工艺温度范围:25-200℃；5. 至少配备8路工艺气路，包括耐腐蚀气路；6. 质保期:1年。 | 400 | 2023年12月 | |
| 4 | 南京大学苏州校区家具 | * | A* 办公桌,A* 办公椅 | (略) 场调研情况及苏州校区自身需求，需购买家具一批，含办公桌、办公椅、会议桌、文件柜、沙发等。 | 1213 | 2023年12月 | |
| 5 | 南京大学浦口校区-鼓楼校区通勤车服务 | * | C* 道路客运服务 | 为师生往返南京大学浦口校区和鼓楼校区提供班车服务（寒暑假、节假日除外）。 | 140 | 2023年12月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京大学招标办公室
**日
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