广东天域半导体股份有限公司第七次改扩建项目
审批公示
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| 受理号(号) | * |
| 项目名称 | 广东天域半导体股份有限公司第七次改扩建项目 |
| 建设地点 | (略) 松山湖北部工业城工业北一路5号 |
| 建设单位 | 广东天 (略) |
| 环境影响评价机构 | 广东 (略) |
| 项目概况 | 2023年10月，公司拟投资4320万元依托松山湖厂区现有厂房进行第七次改扩建，本次建设新增碳化硅外延生长设备7台，不增加碳化硅外延片产能。第七次改扩建后松山湖厂区占地面积18626m2、建筑面积26050.05m2，年生产碳化硅外延片*片，设员工400人，全年工作365天，生产车间实行3班制，每班8小时。 |
| 主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施 | 项目本次改扩建新增7台外延设备，配套新增8个外延生长废气排放口（其中1台为双腔外延设备，为2个排放口），其中1号厂房6个排放口（DA132-DA137），高度15m，2号厂房2个排放口（DA130-DA131），高度36m。外延生长废气通过设备密闭收集后采用“吸附式尾气处理器”处理后高空排放，氯化氢和颗粒 (略) 《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级排放标准要求，NMHC满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44 2367-2022）表1挥发性有机物排放限值要求。 改扩建项目外延检修废气依托现有处理设施和排放口，外延检修废气经抽风机收集采用“碱液喷淋塔+干式过滤器+活性炭吸附”处理后高空排放。 改扩建项目有机清洗产生的有机废气依托现有处理设施和排放口。该工序设置在密闭车间内，废气经通风橱收集采用“二级活性炭吸附装置”处理后高空，满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44 2367-2022）表1挥发性有机物排放限值要求。 改扩建项目清洗工序产生的酸碱废气依托现有处理设施和排放口。硫酸雾、氨气、氯化氢、氟化物设置在密闭车间，经设备密闭收集采用2套碱液喷淋塔装置和2套酸碱喷淋塔装置处理后高空排放，满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)污染物排放标准值、 (略) 《大气污染物排放标准》(DB44/27-2001)第二时段二级排放标准限值要求。 改扩建项目配件抛光粉尘依托现有处理设施和排放口。粉尘废气经负压式抽风收集采用布袋除尘器处理后高空排放， (略) 《大气污染物排放标准》(DB44/27-2001)第二时段二级排放标准限值要求。 改扩建项目对现有废水处理站进行改造，改造后污水依托现有污水处理站处理，通过对臭气源进行局部加盖密闭收集采用生物洗涤+活性炭吸附处理后外排。 含汞废水收集后采用混凝+絮凝+沉淀、砂滤+碳滤、二级树脂、UF系统+二级RO+低温蒸发工艺进行，经处理后废水满足《城市污水再生利用工业用水水质》GB/T19923-2005中冷却用水散开式循环冷却水系统补充水标准后回用于冷却塔，蒸发残液作为危废交有资质单位处理处置； 磨抛+其他废水单独收集混合后一起处理，采用混凝+絮凝+沉淀、厌氧+缺氧+接触氧化、混凝+絮凝+沉淀+砂滤+碳滤工艺，经处理达到《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1水污染物排放限值间接排放标准、 (略) 《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二时段三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B (略) 政污水管网排入松山湖北部污水处理厂处理；剩余部分经UF系统+一级RO进一步处理达到《城市污水再生利用-工业用水水质》（GBT19923-2005）中敞开式循环冷却水系统补充水标准后回用于冷却塔。整体回用率满足50%要求。 |
| 公众参与情况 | 本项目在首次公开环境影响评价信息期间及征求意见稿公示期间，未收到公众关于本项目的反馈意见。 |
| 相关环保措施承诺 | / |
| 公示时间 | ** |
| 联系人 | (略) 生态环境局松山湖直属分局 |
| 联系电话 | * |
| 通讯地址 | (略) 松山湖园区红棉路6号创新科技园10号楼228 |
| 初步审查意见 | 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件等材料进行审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。 |
| 初步审查意见附件 | |
| 备注 | 为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。 听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。 |
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