桌面原子层沉积机
采购信息
| 发布时间 | 2024-02-20 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 详见内容 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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| 潜在报名单位
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
项目概况
| 项目编号 | 南海室快招（货）〔2024〕002号 | ||
| 项目名称 | 南方海洋科学 (略) 实验室（珠海）桌面原子层沉积机采购项目 | ||
| 申购主题 | 桌面原子层沉积机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 采购开始时间 | ** 08:58 | 采购结束时间 | ** 09:00 |
| 采购单位 | 南方海洋科学 (略) 实验室（珠海） | ||
| 经办人 | 沈老师 | 经办人电话 | * |
| 期望收货时间 | 合同签订后3天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学珠海校区海琴4号楼D401 |
| 电子签章 | 无需使用 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3. 外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分） (略) （广州中 (略) ）代理手续费，收费标准根据实验室与广州中 (略) 签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。 | ||
采购明细
| 1采购设备 | 桌面原子层沉积机 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 设备整体尺寸≤550mmx450mmx450mm | 非常重要 | 是 |
| 2 | 工艺温度：正常室温到200℃之间可调 | 重要 | 是 |
| 3 | 成膜不均匀性：<1%（氧化铝）； | 重要 | 是 |
| 4 | 前驱体源：配备不少于3个单管式50ml 前驱体源，一条清扫气线； | 重要 | 是 |
| 5 | 源瓶配备不少于3个单管式50ml前驱体源，含3个手阀； | 重要 | 是 |
| 6 | 源瓶加热器配备 不少于1 个 180℃单管加热器，精度：180±1 oC | 重要 | 是 |
| 7 | 进样室采用抽屉式样品装载样品，可装载4寸晶圆片； | 非常重要 | 是 |
| 8 | 腔体需为真空腔体，200℃高温腔体，温度控制精度 200 ±1 oC； | 非常重要 | 是 |
| 9 | 设备包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤5ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路采用双ALD阀门设计 | 非常重要 | 是 |
| 10 | 阀组采用自动化加热，最高加热温度 ≥180 oC； | 非常重要 | 是 |
| 11 | 气体质量流量计： 1 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 200sccm； | 重要 | 是 |
| 12 | 真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 10torr 电容薄膜 | 重要 | 是 |
| 13 | 真空泵抽速：12m3/H 进口油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤10S | 非常重要 | 是 |
| 14 | 设备极限真空度≤50mtorr | 重要 | 是 |
| 15 | 需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落 | 非常重要 | 是 |
| 16 | 配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵 | 重要 | 是 |
| 17 | 需配备一体式工控机≥10.1 寸，带触摸功能； | 重要 | 是 |
| 18 | 软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能； | 重要 | 是 |
| 19 | 报警及安全控制 ：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统 | 重要 | 是 |
| 20 | 可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块，替代水工艺； | 重要 | 是 |
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章） | 是 |
| 3 | 第5条资质参数 | 符合性参数 | 供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权威信用查询网站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料 | 是 |
| 4 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 5 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 2 | 免费保修年限 | 5年及以上 4年 3年 2年 | 是 |
| 3 | 合同履约 | 该项目对应的付款方式必须严格按实验室合同范本执行；下载地址：http://**:8089/ahttp://** | 否 |
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