中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-新型存储器件工艺集成技术平台其他真空获得及应用设-预算金额万元人民币
招标预告
| 发布时间 | 2024-03-08 | 项目编号 | 点击查看 |
| 招标预算 | 100.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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招标正文 | 服务热线：400-810-9688
| 新型存储器件工艺集成技术平台 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 新型存储器件工艺集成技术平台 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-其他真空获得及应用设备 |
| 采购需求概况： | a. 真空排气系统： 极限真空度：≤5E-8Pa（空载） 抽气效率：从大气开始抽气2小时内真空度优于8E-6Pa（空载测试） 主泵机组：两级分子泵串联抽气 b. 烘箱 最高加热温度：500℃ 控温精度：±1℃ 双立柱电动升降 升降温速率可调 c. 真空管道加热温度：室温～200℃ 可任意设定 d. 吸气剂激活： 激活方式：电激活 e. 封离：手动封离（配专用封离钳2把） f. 工作条件： 电力供应：三相380V，±10% 工作温度：25℃±10℃ 相对湿度：20～70% |
| 预计采购时间： | 2024-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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