清华大学2024年6月政府采购意向-原子层刻蚀机-A-货物设备_A0-预算金额万元人民币
发布时间 | 2024-04-02 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 400.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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原子层刻蚀机 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2024年6月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 原子层刻蚀机 |
预算金额: | 400.*万元(人民币) |
采购品目: | A-货物_A*-设备_A*-仪器仪表_A*-试验仪器及装置_A*-其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 采购需求概况应当包括:1.采购标的名称:原子层刻蚀机2.采购标的需实现的主要功能或者目标:满足8英寸晶圆,向下兼容8英寸(含8英寸)以下晶圆及小片,刻蚀微结构刻蚀速率≤2nm/loop3.采购标的数量:14.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日) |
预计采购时间: | 2024-06 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。