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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向-原子层材料制备设备MOCVD其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币

2024年04月03日   北京
招标预告
发布时间 2024-04-03 项目编号 点击查看
招标预算 850.0万元 资质要求 点击查看
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原子层材料制备设备(MOCVD)
项目所在采购意向: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向
采购单位: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称: 原子层材料制备设备(MOCVD)
预算金额: 850.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他电工、电子生产设备
采购需求概况:
原子层材料制备设备(MOCVD),通过高精度的材料生成能力,控制反应周期数精确地控制材料的厚度,生长速率不受衬底面积大小、基片内温度分布以及气流形状等的影响,可获得均匀一致的膜层厚度。以金属有机化合物为前躯体,以氢气、氮气或其他惰性气体为反应气体,反应气体将前驱体输送到反应室,在衬底表面前驱体分解并发生化学反应,生成所需的大尺寸均匀二维材料并沉积在衬底上。可以实验二维半导体大尺寸、晶圆级可控生长;多层材料的大面积、均匀可控生长;利用MOCVD工艺相对较高的成膜速率,实现二维半导体的高通量制造。以实际公告为准。
预计采购时间: 2024-04
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,苏州, (略)
标签: 采购意向 生产设备 原子层

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