中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向-原子层材料制备设备MOCVD其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
发布时间 | 2024-04-03 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 850.0万元 | 资质要求 | 点击查看 |
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原子层材料制备设备(MOCVD) | |
项目所在采购意向: | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4月政府采购意向 |
采购单位: | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
采购项目名称: | 原子层材料制备设备(MOCVD) |
预算金额: | 850.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他电工、电子生产设备 |
采购需求概况: | 原子层材料制备设备(MOCVD),通过高精度的材料生成能力,控制反应周期数精确地控制材料的厚度,生长速率不受衬底面积大小、基片内温度分布以及气流形状等的影响,可获得均匀一致的膜层厚度。以金属有机化合物为前躯体,以氢气、氮气或其他惰性气体为反应气体,反应气体将前驱体输送到反应室,在衬底表面前驱体分解并发生化学反应,生成所需的大尺寸均匀二维材料并沉积在衬底上。可以实验二维半导体大尺寸、晶圆级可控生长;多层材料的大面积、均匀可控生长;利用MOCVD工艺相对较高的成膜速率,实现二维半导体的高通量制造。以实际公告为准。 |
预计采购时间: | 2024-04 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。