光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期
审批公示
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项目名称
光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目（一期）
项目名称
光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目（一期）
建设单位
光驰半导体技术（上海）有限公司
所属行业
专用设备制造业
建设地点
宝山区宝山工业园区BSP0-1801单元07-17地块，潘川路1507号
项目基本信息
项目分期验收，一期进行ALD设备、PVD设备生产，并建设研发测试室。一期产能ALD设备120台，PVD设备300台。
设计单位
上海华东建 (略)
计划开工日期
**
环评项目登记号
113-502-22-68
环评批文文号
沪宝环保许[2022]56号
环评批文日期
**
联系人
袁立峰
联系电话
*
电子邮箱
*@*http://**
实际开工日期
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开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
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