深圳大学-竞价公告
发布时间 | 2024-05-10 | 项目编号 | 点击查看 |
招标预算 | 详见内容 | 资质要求 | 点击查看 |
采购规模走势
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潜在报名单位
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招标单位 | 点击查看 | ||
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申购单号:CB*
申购主题:ALD原子层沉积系统
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址: (略) / (略) /南山区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | ALD原子层沉积系统 | 1.0 | 套*.0 |
品牌 | 普迪真空 | ||
型号 | ALD-T100Q | ||
规格参数 | 1、真空腔室:6061 铝阳极氧化处理,腔室内尺寸Φ200×10 mm;2、真空系统:双极旋片油泵,抽速度不小于 16 m3/h;气动真空阀门+耐污染薄膜真空计;3、极限真空:系统极限优5.0×10-3Torr,系统真空漏率小于 5*10-10 Pa.m3/s;4、样品台尺寸:4 英寸样品托,兼容 4 inch 及以下样品尺寸;5、样品台温度:4英寸内样品表面加热温度最高可达300℃,温度控制精度±0.5℃;6、前驱体路数:3路可加热至200℃的金属驱体源和1路水以及臭氧前驱体源;7、吹扫管道:2路质量流量计控制前驱体源吹扫管道,分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道;8、生长模式:连续和停留沉积模式选择;9、控制系统:PLC+工控机+触摸屏人机交互界面;10、电源功率:50-60Hz,380VAC /20A交流电源;11、沉积非均匀性:在4inch硅片上,沉积500ycle氧化铝非均匀性 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
信息来自:http://**#http://**