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材料系射频等离子源采购成交公告

2024年05月15   广东
发布时间 2024-05-15 项目编号 点击查看
中标金额 32.2万元 采购规模走势
  采购规模走势

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南方科技大学 SUSTech-JC-2024-00607 竞采结果公告
项目名称 材料系射频等离子源采购
项目编号 SUSTech-JC-2024-00607
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起三日
成交单位 费勉仪器科技(上海)有限公司
成交金额(元) *.00
成交理由 最低价成交
预算(元) *.0
项目预算是否含税 国产含税
备注



采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)

1

射频等离子源(核心货物)

1

台(套)

*.0

*.0

是否接受进口

拒绝进口

品牌

费勉仪器科技(上海)有限公司

型号

FERMI-RFPS-200

生产厂商

费勉仪器科技(上海)有限公司

产地信息

中国

技术规格及参数

1.RFPS-200射频等离子源:适用气体:氮气,氢气,氧气;
安装法兰:CF100或CF63;
进气法兰:CF16;
工作气体流量范围:0.1-10 sccm;
主腔工作气压:<1E-3 mbar;
工作距离:100-200 mm;
源体深入腔体的长度:400mm;
特殊设计的多孔引出结构,可根据生长需求进行定制;
射频驱动功率:500 W;
匹配器:自动匹配;
冷却水循环通过线圈,水温<20℃,水流 ≥ 2 L/min。
2.射频电源:射频驱动功率:500 W,频率:13.56MHz。
3.匹配器:自动和手动切换,功率:1000W。
4.光谱仪:适用波段:380—960nm,狭缝宽度100μm; 光学分辨率1.5nm,积分时间1ms-60s;包含光纤,光纤可固定法兰。
5.气路面板:质量流量计,精密气体流量控制:0.1sccm-10sccm;全金属VCR超高纯气路标准设计;气体纯化器;高纯气路PE管。

质保期

验收之日起提供1年质保。

售后要求

满足。 1.提供制造商免费质保1年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算,在保修期内,一旦发生质量问题,投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换,保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务,由制造商提供售后服务。 2. 维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,2小时内响应,24小时内派员上门现场维护,并在48小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准:根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收,设备经过双方检验认可后,签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算,由投标人提供产品保修文件。 以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告: a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料; b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求; c、货物具备产品合格证。

付款方式 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付100%的货款。
交货期 合同签订后50天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前7天(自然日)通知送货
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