合肥芯碁微电子装备有限公司Master(类载板专用直接曝光设备)系列产品的研制与产业化项目
项目基本信息
项目代码 | *** - * - *** | 项目名称 | (略) 芯 (略) Master(类载板专用直接曝光设备)系列产品的研制与产业化项目 |
项目类型 | 备案 | 项目法人单位 | (略) 芯 (略) |
审批事项公示信息
(略) 门 | 审批事项 | 审批结果 | 审批时间 | 审批文号 |
(略) (略) | 区属内资项目备案 | 批复 | *** | *** - * - *** |
项目代码 | *** - * - *** | 项目名称 | (略) 芯 (略) Master(类载板专用直接曝光设备)系列产品的研制与产业化项目 |
项目类型 | 备案 | 项目法人单位 | (略) 芯 (略) |
(略) 门 | 审批事项 | 审批结果 | 审批时间 | 审批文号 |
(略) (略) | 区属内资项目备案 | 批复 | *** | *** - * - *** |