各公司、厂商：
上海理工大学材料学院由于学科建设需要，需订购多气氛等离子反应器一台，现在网上公开招标信息，欢迎各单位、厂商参与投标。
一、设备参数：
放电功率：0-500W放电频率：13.56MHz
放电方式：电感和电容耦合，两种放电
%中国采招网（ bidcenter.com.cn）腔室：两个（普通气体、腐蚀气体）
工作气体：氩气、氧气、氢气、氮气、含氟气体
设备构成：壳体放电腔室（两个，一个不锈钢，一个石英腔）射频电极（电感和电容）射频电源（500W,连续可调，可精确定位（可重复性好），可进行短时间设定（如小于5秒））
真空系统（耐腐蚀泵组）
进气系统（全部用质量流量计，氮气量程500，氩气500，氧气200，氢气100，含氟气体需要用防腐蚀质量流量计，量程100）
二、其他要求：
（1）付款方式
预付90%货款，余10%质保金一年后付清。
（2）供货周期
40天内交货。
（3) 验收标准和方法：提供元件清单，按照有关的国家标准和买方的检测要求进行，最终验收在买方现场完成安装、最终验收买方应在设备安装调试完毕后，买方签署验收意见。
（4) 质量保证和售后服务要求：安装验收合格后的3年内免费保修，所有维修费用免费。在保修期过后提供有偿维修，出现故障报修后48小时内到达现场。保修期内提供一次免费的上门技术指导和一次应用提高培训。
技术负责人：唐老师 电话：********查看详情
招标截止时间： 2012年5月18日上午10:00（标书一式二份封存并注明招标号）
标书请寄：上海理工大学公共服务中心102室设备科（军工路516号，邮编200093）
联系电话（传真）：********查看详情
联系人：缪老师
上海理工大学设备招标领导小组
2012年5月10日
