采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清设比选********查看详情号 |
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公告开始时间 | 2021-03-10 10:13:41 | 公告截止时间 | 2021-03-13 11:00:00 |
采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 货到付款100% |
对外联系人 | 本项目不接受咨询 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 |
签约时间要求 | 成交后10个工作日 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后30个工作日 |
最高限价 | 未公布 | ||
交货地址中国采招网'(bidcenter.com.cn) | 北京市清华大学工物馆104 | ||
供应商特殊资质要求 | 无 |
采购清单1
物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
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原子层沉积系统 | 1 | 台 |
品牌 | 重庆瑶欧 |
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型号 | D100-4882 |
技术参数及配置要求 | (一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件; (二) 样品基片尺寸:4英寸; (三) 反应器加热温度:室温~400 oC; (四) 4路前体源:每路包含高温高速ALD专用阀门(美国世伟洛克)、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门;4个加热套,可对管路和3路源进行加热(室温~200 oC); (五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口; (六) 采用8通道阀岛(德国费斯托)集成气动控制系统(最大可扩展至7路前体源); (七) 采用8通道高精度PID温控系统(厦门宇电); (八) 载气采用数字流量计(七星华创)程序控制; (九) 真空泵系统:真空机械泵与相关管路; (十) 尾气吸附肼1套,真空泵上面配备专用油雾过滤器,以吸附过量的反应物,从而保护真空泵; (十一) 臭氧系统:高浓度臭氧发生器及相关管路;臭氧流量为数字流量计控制,控制精度可达到+/-0.3sccm; (十二) 预装Windows笔记本电脑;集成整合界面自动控制软件;程序控制两种工作模式 |
质保期 | 12个月 |
清华大学
2021-03-10 10:13:41