一、项目名称：等离子体增强原子层沉积系统
二、项目编号：S*******查看详情
三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编：215021 传真：****-********查看详情
联系人：罗老师 电话：****-********查看详情，********查看详情
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
电子邮箱：xbyang@suda.edu.cn
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
等离子体增强原子层沉积系统 1套
（一）工作条件
1.电源电压：AC 380V±10%，50Hz，三相五线；
2.长时间连续工作（满足7×24，即每周7天、每天24小时运行）。
（二）主要技术要求
1.适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工；设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃。
2.腔体系统要求
2.1真空腔材质为316L不锈钢，漏率≤5×10-10mbar?L/s，腔体表面经过电解抛光处理；
2.2样品台尺寸不小于φ200mm，可放样品高度不小于10mm；
2.3腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底；
2.4腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封；
2.5真空腔体上方具备独立反应气扩散装置，该装置具备加热功能；
2.6设备本底真空度≤5×10-3 Torr。
3. 管路系统要求
3.1配备4路前驱体源管路，其中2路常温源适用于饱和蒸汽压较高的源，其中2路可加热源适用于需要加热的固态或液态源，预留2路可加热源位置用于扩展；
3.2每路前驱体源至少配备1套源瓶系统和2个进口阀门；其中可加热源管路配备的进口阀门必须为耐高温阀门，最高耐温不小于150℃；
3.3源瓶系统配备1个耐高温手动阀（最高耐温150℃）、经过电解抛光处理且体积不小于250mL的不锈钢源瓶；
3.4管路阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中；
3.5至少配备1路H2O反应物管路，反应物管路配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃；
3.6反应物H2O管路配备1个经过电解抛光处理且体积不小于75mL的不锈钢源瓶；中国采招网（bidc enter.com.cn]）
3.7前驱体管路配有载气（N2或Ar），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等；
3.8配备惰性气体吹扫管路，至少采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体；
3.9设备所用的质量流量计控制精度：±1% of set point for 30 to 100% F.S.，±0.3% of F.S. for 0 to 30% F.S.；可重复精度：±0.2% of Full Scale；响应时间：< 1.5sec ；漏率：< 1 x 10-11 (Pa.m3/sec He)；接口：Swagelok 1/4 VCR male；；
3.10管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；
3.11管路排布符合工业标准，从源瓶到真空腔的所有管路配备加热箱，保证管路、阀门等位置受热均匀；
3.12配备压缩空气调压组件及油雾过滤系统，配备压缩空气开关。
4.加热系统要求
4.1样品台温度：室温至400℃可控，控制精度±1℃；腔体四周及上下盖板具备加热保温功能，加热温度室温至150℃可控，控制精度±1 ℃；
4.2源瓶系统：室温至150℃可控，控制精度：±1℃；
4.3加热箱：室温至150℃可控，控制精度：±1℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性±5℃；
4.4采用固态继电器用于控制加热，符合UL、CSA、ROHS标准。
5.真空系统要求
5.1真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速30m3/h，噪音不大于60dB；
5.2真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计(量程范围：0.005-10Torr)和一个大气真空压力计(量程范围：1-760Torr)；
5.3真空压力计采用薄膜规，要求高精度，长寿命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS；符合CE，ROHS 规范。
6.等离子系统
6.1采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源；
6.2配备进口射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc；
6.3配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间；
6.4配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s；
6.5配备3路气体管路，包含N2、O2、H2；
6.6每路气体管路配备1个阀门和1个质量流量控制器；
6.7等离子体工艺启辉窗口，功率范围30-1000W，压力范围0.05-1.0Torr。
7.设备软硬件规格
7.1控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2ms扫描周期；
7.2输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停；
7.3界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能；
7.4界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态；
7.5界面操作系统具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑；
7.6用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等；
7.7用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能；
7.8界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理
7.9界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备；
7.10界面操作系统可自动完成Thermal-ALD的单一或多层配方运行；
7.11界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留；
7.12阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯；
7.13电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁（Interlock）功能，防止误操作的发生，保证设备和人身安全；
7.14支持连续、停留、复合掺杂工艺模式；
（三）工艺及服务
1. 提供Al2O3、TiO2等工艺配方；
2. 具备独立的工艺部门，为客户提供原子层沉积工艺技术支持。
（四）验收指标
须提供氧化铝以及氧化钛薄膜的标准工艺配方，按以下内容进行现场制备与验收：
1. 8英寸（?200mm）单晶硅片基底上沉积Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2％；
2. 8英寸（?200mm）单晶硅片基底上沉积TiO2薄膜，薄膜的不均匀性＜2％。
（五）其他服务
1. 质保期不少于1年。电话支持服务：提供7×24小时热线电话支持服务，负责提供技术问题的解答和技术指导。维护响应时间：我方工程师在收到用户的维修服务要求后4小时内做出响应， 48小时内实现现场响应，使仪器恢复正常使用（除要更换进口仪器配件情况外）。
2.保修期外有偿维修服务，仅收取零部件工本费、差旅费。
（六）报价要求
若采购需求未发生实质性变动（由磋商小组进行认定），本项目将不再组织二次报价，即以供应商响应文件中的报价为最终报价。
五、评分标准
本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）
1．技术参数及配置（35分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣3分。
2．综合性能情况（15分）
（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（5分）。其中优于项，每处加2分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（10分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
（二）价格分（35分）
1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（三）综合商务（15分）
1．供应商综合实力（2分）。根据供应商综合实力评定。
2．售后服务与培训情况等（8分）
（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（5分）。
根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3.业绩（2分）。提供与报价产品类似设备销售业绩证明复印件。（原件备查）
4．其它（3分）
（1）磋商响应文件质量（1分）。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。
（2）其它优惠措施等（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。
六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
（一）在中国境内注册成立的企业，具有独立法人资格。
（二）经营范围包含报价产品。
（三）本项目不接受联合体报价。
八、磋商响应文件的组成
（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：
1. 磋商响应资料与页码对照表。
2. 磋商响应函（原件）。
3. 响应基本情况一览表（原件）。
4. 详细配置清单（原件）。
5. 技术规格偏离表（原件）。
6. 公司简介（包括公司性质、公司规模、公司业绩、公司荣誉、公司资质、财务状况等，原件）。
7. 资格证明材料
（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。
（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。
（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。
（7）仪器设备销售代理授权证明（非投标产品生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。
（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。
（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。
8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。
9. 供应商认为应该提供的其他材料。
（二）特别说明
1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章；
2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；
3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件2），售后不退。
十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2021年3月24 日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）；未在苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)注册的供应商，请在递交磋商响应文件前完成注册。
十二、递交磋商响应文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
1. 寄达时间：2021年3月29日14：00前；
2. 收件人信息：
收件人：招标中心罗荣飚
收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
（二）现场递交
1. 现场递交时间：2021年3 月29日13：30～14：00
2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十三、递交磋商文件截止时间：2021年3月29日14：00。
十四、磋商时间：2021年3月29日14：00。
