询价采购公告
采购编号：********查看详情00002
截止日期：2021-03-25
西湖大学将对《磁控溅射镀膜系统》项目进行询价采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。本次采购的有关事项如下：
一、采购项目：
序号 | 设备名称 | 主要技术参数 | 数量 | 预算（英镑） |
1 | 磁控溅射镀膜系统 | | 控制电路、气路、控制用计算机须要与真空腔紧凑安装并集成在同一机箱中。整套设备尺寸与重量需满足：长度≤810mm，深度≤510mm，高度≤640mm，重量≤70kg。 | | 真空腔：采用SS304无应力不锈钢材料，腔室为圆柱体，直径：≥225mm，高度：≥250mm，顶部开盖设计，方便装载样品，腔室须带有观察窗口，便于观测镀膜状态。真空腔须采用气动式阀门。 | | 泵浦系统：由前级机械泵及二级分子泵组成，机械泵泵浦速率：≥3m3/小时，真空泵泵浦速率：≥6m3/小时，真空腔室最小压力：≤5X10-7mbar | | 压力监测系统：采用真空规进行大范围真空度检测，测量范围10-9——1000mbar 采用温度补偿电容压力传感器进行高分辨率压力测量，软件可实现压力的全自动控制，压力控制分辨率：≤0.1mTorr。 | | 磁控溅射靶：尺寸为2英寸，靶头位置固定，数目≥3个。 | | 射频电源：使用射频13.56MHZ 系统，功率不低于150W的RF电源，带有自动匹配电路，用于沉积绝缘体薄膜或者金属薄膜。 | | 直流电源：功率不低于850W。通过溅射转换模块可分别控制任一磁控溅射靶，用于快速沉积金属薄膜。 | | 共溅射模块：可实现两个磁控溅射靶共同沉积，同时也可实现在不破坏真空的条件下进行顺序溅射。 | | 磁性材料溅射模块：系统需配置高强度磁控模块用于对磁性材料的溅射镀膜。 | | 薄膜厚度控制模块：系统需配置薄膜厚度检测模块，可设定镀膜厚度及实时检测镀膜厚度。 | | 气路：至少配置3路气路，Ar，N2，O2，每一路都有MFC进行自动控制，使用1/4”世伟洛克?接头进行连接 | | 样品台：≥100mm，必须带有旋转功能以提高薄膜的均匀性，同时样品台可以进行Z向调节，用于调整沉积面积。 | | 高温加热台最高加热温度：≥500℃，温度分辨率：≤1℃，必须采用非电阻式进行加热 | 中国采招网（bidcent er.com.cn）?| 控制及显示系统：整个镀膜系统采用专用的PLC控制系统进行控制，7”触控屏预装镀膜软件，可用于精确控制整个镀膜流程，需要具备全自动化操作功能，可以满足一键式操作系统操作为自动排气、自动镀膜。制程记录项目：镀膜功率/镀膜时间/镀膜气体流量实时监控/制程真空度/Holder旋转速等，自定义并可存储多个recipe。 | | 安全互锁系统：包含压力保护装置，舱门锁死装置，泵浦锁死装置可保证使用过程中不存在任何风险。软件可监控所有部件的运行状况，碰到安全问题，软件可自动切换到安全状态，同时软件可以提示发生故障的部件。 | | 使用单向220V-230V，50-60Hz电源进行供电，所需循环水冷机制冷功率≤600W |
| 1 | 76000 |
预算合计 | 76000.0 |
注：
1、报价应包括货物送至用户指定地点并完成安装调试所需所有费用；
2、发送报价函时请随附：
1)营业执照复印件
2)产品经销权复印件
3)其它资质文件
3、详细技术参数需求，请联系：张超老师
4、报价函索取及接收邮箱：zhangchao68@westlake.edu.cn
二、询价截止时间： 2021年03月25日 下午5点30分。
三、询价地点：西湖大学云栖校区4号楼305室
四、供应商选择原则：质量、价格、服务和交货时间综合考虑。
五、质疑和投诉：
谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起5个工作日内以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向西湖大学设备资产部投诉：
投诉监督电话：****-********查看详情
如发现违法违纪行为，请与西湖大学纪检监察办公室联系：
监督电话：****-********查看详情
联系邮箱：jijian@westlake.edu.cn
