发布时间：2021-04-08 16:28:25截止时间：2021-04-13 17:00:00
基本信息：
申购单号：CB146*****1000077
申购主题：等离子体去胶机
采购单位：深圳技术大学
报价要求：进口免税
发票类型：类型不限
币种：人民币
预算：******
签约时间：
送货时间：
安装要求：免费上门安装（含材料费）
收货地址：深圳市生****
我要报价
付款方式：货到验收合格后付款中国采招网（.bidcenter.com.c n）
备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
等离子体去胶机
数量
1台
预算单价
品牌
FEMTO,PVA TePla, Questar
型号
不推荐
规格参数
1.铝制工作腔室，容积≥7升，腔室内部宽≥200 mm，深≥ 200 mm 2.腔室门带有观察窗口 3.多孔进气，进气孔>50个 4.300 Watt 风冷13.56 MHz 射频发生器 5.三路质量流量控制器 (MFC)， 最大流速≥200 scc/m（O2,Ar，CF4） ?保护性气体回填功能 6.内置计算机 ·7”彩色液晶触摸屏 ·最多可存储10个工艺菜单，每个工艺菜单最多至10个步骤 手动或自动操作模式 7真空测量：皮拉尼真空规 8单层平板电极板，电极板带有冷却水进出管路 9.配置旋片油泵，最大抽速14.4m3/h 10.去胶速率（普通正胶）≥10nm/min 11.去胶均匀性≤±20% 12.电子版本说明书一套
质保及售后服务
按行业标准提供售后服务
等离子体去胶机招标公告
来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 大学 深圳
| 所属地区 | 广东省-深圳市 | 发布时间 | 2021/4/8 | 关键词 | 大学深圳 近期更新5085项目 点击关注“大学,深圳”实时招标项目 |
| 招标业主 | 深圳技术大学 (查看该业主所有招标公告) | ||||
项目招标进展
