发布时间：2021-04-20 16:10:32 截止时间：2021-04-24 09:00:00
基本信息：
申购单号：CB********查看详情中国采招网（%bid center.com.cn）*******查看详情 申购主题：双室磁控溅射仪 采购单位：西安交通大学 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 币种：人民币 预算：
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：发布竞价结果后120天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：陕西省/西安市/碑林区 我要报价
付款方式：1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。 备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
双室磁控溅射仪
数量
1
预算单价
品牌
不限
型号
不限
规格参数
? 溅射室极限真空度：≤6.67X10-6 Pa (经烘烤除气后)； ? 进样室极限真空度：≤6.67X10-4 Pa (经烘烤除气后)； ? 溅射室40分钟可达到6.6X10-4 Pa；进样室40分钟可达到6.6X10-3 Pa； ? 溅射室基片加热温度不低于500℃； ? 退火室基片加热温度不低于700℃； ? 具有5个溅射靶； ? 溅射室停泵关机12小时后真空度：≤5Pa； ? 进样室停泵关机12小时后真空度：≤10Pa； ? 可放置φ30mm基片；同时可以安放6片； ? 6个工位中，其中1个工位安装加热炉，其余工位为室温基片台； ? 基片转盘可0～360°往复回转更换工位； ? 基片可原位连续回转，转速5～10转/分； ? 基片可以加负偏压:-200V；（辅助沉积） ? 电动控制基片挡板组件：1套；
质保及售后服务
按行业标准提供服务，质保期12个月。
双室磁控溅射仪招标公告
来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 磁控溅射
| 所属地区 | 陕西省-西安市-碑林区 | 发布时间 | 2021/4/20 | 关键词 | 磁控溅射 近期更新67项目 点击关注“磁控溅射”实时招标项目 |
| 招标业主 | 西安交通大学 (查看该业主所有招标公告) | ||||
项目招标进展
