一、采购项目信息
1.项目名称：磁控溅射系统
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | 磁控溅射系统 | 1 | 1.1 腔室尺寸：≧Φ450mm*H420mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接； 1.2 样品台旋转：0-20r/min可调；可加热至600℃； 1.3 溅射靶角度可调； 1.4 极限真空：8.0×10-5Pa； 1.5 真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 20min； 1.6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa； 1.7 磁控靶：3只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源； 1.8 至少3台溅射电源：500W直流溅射电源和500W全自动匹配射频电源；多弧溅射源：Φ80mm； 1.9 偏压清洗系统:0-1000V 1.10 控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； 1.11 具备单层膜溅射，复合膜溅射，多层膜交替或共溅射；1.12：溅射不均匀性≤±5％ | 三年免费保修、电话报修后24小时内上门服务、48小时内排除故障、原厂工程师（及以上）服务的原厂商售后服务承诺函；提供不少于3天不少于3人的主要设备厂商（认证的）工程师安装配置等实操培训课程，场地、交通等与培训相关的费用均由成交供应商承担。 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
1.递交截止时间：2021/04/27 17:00（北京时间）
2.递交地点：wisco联合实验室
3.按约定递交方式递交。
六、项目联系人
联系人：李冬冬
邮箱：lidongdong0@hust.edu.cn
华中科技大学材料科学与工程学院
2021年04月21日
