发布时间：2021-04-21 16:21:28 截止时间：2021-04-25 09:00:00
基本信息：
申购单号：CB********查看详情*******查看详情 申购主题：三靶磁控溅射仪 采购单位：西安交通大学 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 币种：人民币 预算：
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：发布竞价结果后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：陕西省/西安市/碑林区/我要报价
付款方式：1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。 备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
三靶磁控溅射仪
数量
1套
预算单价
品牌
无
型号
VTC-600-3HD中国采招网|（bidcent er.com.cn）
规格参数
1、电源电压：220V 50Hz 2、总功率：＜2.5KW 3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到?E-5mbar） 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 、靶枪数量：3个（其中一个为强磁靶头） 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、直流溅射功率：（可选） 9、射频溅射功率：（可选） 10、载样台：?140mm 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、保护气体：Ar、N2等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM 产品规格：主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg 标准配件： 1) 膜厚监测仪系统 1套 2) 冷却水管（?6mm） 4根
质保及售后服务
按行业标准提供服务，质保期36个月。
三靶磁控溅射仪招标公告
来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 磁控溅射
| 所属地区 | 陕西省-西安市-碑林区 | 发布时间 | 2021/4/21 | 关键词 | 磁控溅射 近期更新68项目 点击关注“磁控溅射”实时招标项目 |
| 招标业主 | 西安交通大学 (查看该业主所有招标公告) | ||||
项目招标进展
