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申购主题:三靶磁控溅射仪
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/碑林区/****
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 三靶磁控溅射仪 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | VTC-600-3HD | ||
| 规格参数 | 1、电源电压：220V50Hz2、总功率：＜2.5KW3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到?E-5mbar）4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）、靶枪数量：3个（其中一个为强磁靶头）6、靶枪冷却方式：水冷7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）8、直流溅射功率：（可选）9、射频溅射功率：（可选）10、载样台：?140mm11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调12、保护气体：Ar、N2等惰性气体13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM产品规格：主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg标准配件：1)膜厚监测仪系统1套2)冷却水管（?6mm）4根 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 | ||
信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detail/9c********查看详情67413f91897ef42378f97d
