发布时间：2021-04-26 15:52:22 截止时间：2021-05-07 12:00:00
基本信息：
申购单号：CB********查看详情*******查看详情 申购主题：蒸发镀膜机 采购单位：深圳大学 报价要求：国产含税 发票类型：增值税专用发票 币种：人民币 预算：195,000.00
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：广东省/深圳市/南山区我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
申购明细：
序号
1
中国采招网（bidcenter.c om.cn）[
采购内容
高真空电阻蒸发镀膜机
数量
1台
预算单价
195000
品牌
北京泰科诺
型号
ZHD400
规格参数
主要技术参数： ※1.镀膜室：尺寸不小于: L400mm×W440mm×H600mm；SUS304不锈钢制作,方形前开门结构； 2.腔室烘烤：室温～150℃，清除吸附在腔体表面的残留物。 ※3.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统；分子泵：抽速不小于1200 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S； ※4.真空指标：极限真空：优于6.6×10-5Pa；(设备空载抽真空24小时内) 抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min； 设备升压率≤0.8Pa/h; ※5.基片台：≥φ300mm, 可承载200*200mm的基片，配有标准夹具，方便装卡不同厚度的基片；基片台具备加热、冷却功能；不同时使用；基片台可自动升降：有效提高贵重材料利用率及膜厚；升降范围：≤70mm； ※6.金属蒸发源:水冷铜电极4组； ※7.有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2组；需角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2套（独立PID智能温控蒸发）； 8.气动挡板及源间防污隔板1套 ※9.膜厚不均匀性：镀金属膜，200x 200 mm的蒸镀面积内厚度偏差 <8%。 100x 100mm的蒸镀面积内厚度偏差 <5%。 10.控制方式：需采用PLC+触摸屏半自动控制，电控柜位于腔室底部，操作屏置于机架上； 11.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 12.冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.33kW，1台； 13.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m3)，噪音: ≤68dB，1台； 14.文档资料： ①设备操作、维护使用说明书1套； ②设备电气原理图1套； ③设备易损件清单1套； ④装箱单； ⑤设备出厂合格检验证明。 ※15.其他要求： ①整机质保不低于1年，代理商需提供原厂家售后服务承诺书； ②具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评； ③生产厂家需提供金属电极相关工艺参数，需现场演示制备。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
