物理学院等离子体增强原子层沉积系统招标公告

招 标 邀 请 书一、招标人名称：东北师范大学招标人地址：吉林省长春市人民大街5268号项目负责人：徐威军高金敏联系人：王皓 电话：****-********查看详情手机：186*****688二、招标项目的名称：物理学院等离子体增强原子层沉积系统招标项目编号：DSZC*******查看详情三、具体要求：详见附件四、开标、评标和中标 1、开标报名截止时间：2013年6月26日下午17点前 报名地点：东北师范大学综合楼712室报名联系人：王皓报名电话：中国采招网（bidcent er.com.cn|）****-********查看详情186*****688报名邮箱：********查看详情75@qq.com开标时间：2013年6月28日15:00（即提交投标书截止时间）。开标地点：东北师范大学综合楼七楼会议室2、评标依据中华人民共和国招标投标法组成东北师范大学评标委员会，该委员会成员将客观、公正地履行职务，遵守职业道德，对所提出的评审意见承担个人责任。该委员会成员在开标前将严格保密。依据招标人编制的招标书中确定的评标标准和方法公开公平公正的进行评标。评标委员会采取无记名投票方式直接确定中标人。3、中标招标人将具有法律效力的中标通知书发给中标人，招标人改变中标结果的，或者中标人放弃中标项目的，按招标总金额5‰违约金支付给对方。中标人接到中标通知书一周内和招标人按照招标文件及投标文件订立书面合同（合同一式五份同事提交电子版投标文件）。中标人不得向他人转让中标项目，也不得将中标项目支解后分别向他人转让。中标人按签定合同总金额5‰支付招标人评审费。五、投标须知1、投标者或潜在投标者在投标书中只许提供一个投标方案，其他投标方案仅被视为建议投标方案或无效投标方案，并提供有关资质证明（如营业执照、税务登记、各种授权等）和业绩情况（要详细注明用户联系人、地址和电话）。投标者应提供法人授权函，代理商参与投标的，还应提供产品制造商针对本次招标出具的授权函。投标者必须保证产品质量及售后服务承诺。投标者应考虑给予高校一定优惠以及广告宣传作用，在价格上给予特殊的照顾（如教育特价等）。2、投标材料一式十五份(一份正本,十四份副本)。3、本标书售价300元人民币。4、请投标方仔细阅读附件中性能指标说明。5、请投标方严格按照投标书目录（附件二）顺序、要求制作标书。6、本次招标在报名期间现场交纳标书费，请报名厂家于6月26日前到东北师范大学本部校区(人民大街5268号)综合楼712室（资产处招标采购办公室）交费，标书费售出不退。东北师范大学资产处招标办公室2013年6月6日附件一: 具体要求1.样品台: 6英寸，基片加热温度在RT- 400℃可控，控制精度±1℃2.反应腔: 腔壁可加热保温，温度200℃以下可控，控制精度±1℃；3.沉积模式: 平面模式、高深宽比模式；4.真空系统：进口机械泵，本底真空1Pa, 漏率10-9 mmHg?l/s，具备压力控制能力。。5.前驱体源: 50ml源瓶，标准4路前驱体源，至少3路为加热源，可扩展。加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃；加热源配备高温手动阀；6.前驱体管路全部采用316L不锈钢EP级管路，VCR接头，所有管路加热温度RT-150℃可控。7.等离子体发生系统:自动匹配远程 ICP 等离子体源系统；包括：射频电源输出功率≥300W ，功率连续可调；13.56M Hz RF发生器；自动匹配器；等离子体产生腔采用高纯（99%）的氧化铝或石英；8.载气: Ar氩气或N2氮气作为载气和管路清洗；配备质量流量计(MFC) ，流量控制0-200sccm，精度1%。9.ALD阀: 每一路前驱体配置一个世伟洛克原子层沉积专用高速高温ALD阀；ALD阀加热温度RT-150℃可控。设备具有"自动清洗"的功能，可清洗管路, 保护ALD阀门。10.排气管路: 排气管路配置尾气处理装置。11.控制: 标准化控制系统，实现全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控和记录，并可以全程回放。多重安全互锁机制保证用户安全使用。计算机的配置要求为联想或者戴尔的中端商用机型，软件终身免费升级。12.全部沉积过程(开始到结束)的参数实时全部记录，都可以事后回放，每个脉冲曲线都可以回放显示。13.扩展性：预留扩展接口14.系统必须完全符合 CE 标准。15.安装培训:工程师现场安装,提供免费技术培训。16.保修: 至少一年免费保修，承诺24 小时内对客户服务要求作出响应，若24 小时内电话、电子邮件或传真指导不能解决问题，服务工程师需在48 小时内到达客户现场解决问。17.可沉积物质应包括：氧化物，氮化物，氟化物，碳化物，硫化物和单质。并提供生长工艺参数和技术指导。3英寸面积的薄膜均匀性偏差≤1%。18.数量：1套附件二：投标书目录1.投标函…………………………………………………………………………….2.法定代表人授权委托书…………………………………………………………3.报价文件…………………………………………………………………………3.1开标一览表3.2报价明细表3.3技术及服务无偏离声明3.4技术及服务偏离文件（格式见附件三）3.5公司资质……………………………………………………………………………3.6法定代表人身份证复印件…………………………………………………………3.7投标人身份证复印件………………………………………………………………3.8企业营业执照………………………………………………………………………3.9税务登记证…………………………………………………………………………3.10组织机构代码证……………………………………………………………………3.11一般纳税人证书…………………………………………………………………3.12项目相关资质证书………….……………………………………………………4.产品制造商授权书………………………………………………………………5.售后服务承诺……………………………………………………………………6.产品质量检验报告……………………………………………………………………7.公司近三年业绩…………………………………………………………………………说明：1.投标函、法定代表人授权委托书、报价文件均需加盖公司公章2.技术及服务偏离文件必须以列表的形式显示所投产品技术参数与标书要求技术参数的偏离情况，技术偏离文件的每一页均需加盖公司公章；如无偏离情况，请附加无偏离声明，并加盖公司公章。3.投标书应统一标注页码，包括公司资质文件中的复印件也应标注页码。4.投标函中应明确本次招标的项目名称和项目编号（项目名称、编号见招标邀请书）。5.制造商授权书中应明确本次招标的项目名称和项目编号，如产品制造商直接参与投标可去除此项。6.公司近三年业绩中高校、教育行业相关业绩放前面。如有任何疑义可联系 王皓（****-********查看详情186*****688） 附件三：投标货物技术及服务偏离文件招标项目名称： 招标编号： 所投产品完全符合标书要求，无偏离。特此声明。（如存在偏离请在此处写：投标产品序号存在偏离，特此声明。）投标代理人：（签字） 公司盖章：序号货物名称标书要求产品技术参数及服务投标产品技术参数及服务偏离情况