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PECVD镀膜机招标公告

来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 镀膜机

所属地区 广东省 发布时间 2021/5/12 关键词镀膜机   近期更新66项目点击关注“镀膜机”实时招标项目
招标业主深圳技术大学  (查看该业主所有招标公告)

项目招标进展

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发布时间：2021-05-12 17:39:36 截止时间：2021-05-17 17:00:00
基本信息：
申购单号：CB146*****1000177 申购主题：PECVD镀膜机 采购单位：深圳技术大学 报价要求：含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：
签约时间： 送货时间： 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：深圳技术 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
供应商出现下列情形之一的，其响应属于非实质性响应：（一）报价总价超过总预算，或者报价单价超过对应的单项预算；（二）推荐品牌竞价的，供应商响应的产品品牌不在推荐品牌范围内；（三）供应商响应的产品数量违背需求中产品数量的；（四）供应商响应的交货期长于本项目采购需求明细中约定的交货期要求；（五）供应商响应的任意一项服务要求不符合本项目公告中约定的服务要求；（六）供应商响应的任意一项技术要求不符合本项目采购需求明细中约定的技术要求；（七）供应商应答文件中分项报价之和大于其竞价总价的；（八）供应商未按项目要求上传竞价应答文件，或供应商应答文件未按竞价应答文件格式规定内容、格式提交或填写不完整；（九）采购需求指明拒绝进口，供应商选用进口产品参与竞价；（十）竞价采购的产品属于强制节能产品，供应商未选用节能产品响应竞价或者应答文件中未提供有效的节能产品认证证书扫描件。
申购明细：
序号
1
采购内容
PECVD镀膜机
数量
1套
预算单价
品牌
推荐三个品牌：合肥百思、北京晓韬、贝意克
型号
无
规格参数
1、加热系统： 1.1最高温度不低于1200℃； 1.2炉膛直径不低于100mm，长度不低于1650mm； 1.3炉膛材料为氧化铝、高温纤维制品； 1.4热电偶类型为K型热电偶，控温精度±1℃，控温方式为不低于30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为工控电脑，内置PLC控制程序； 1.5加热长度不低于440mm，恒温长度不低于200mm。 2、PE射频电源： 2.1信号频率13.56 MHz±0.005%； 2.2功率输出范围不低于500W，最大反射功率不低于500W； 2.3射频输出接口50Ω、N-type、 female； 2.4功率稳定度±0.1%； 2.5谐波分量≤-50dbc； 2.6整机效率≥70%； 2.7功率因素≥90%，冷却方式为强制风冷。 3、三路质子流量控制系统： 3.1连接头类型为双卡套不锈钢接头； 3.2标准量程（N2）100sccm、200sccm； 3.3准确度±1.5%； 3.4线性±0.5～1.5%； 3.5重复精度±0.2%； 3.6响应时间：气特性1～4 Sec，电特性不高于10 Sec； 3.7工作压差范围0.1～0.5 MPa； 3.8最大压力不低于3MPa； 3.9接口Φ6mm、1/4英寸； 3.10显示：不低于4位数字显示； 3.11压力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格； 3.12截止阀Φ6 mm，内外双抛不锈钢管 Φ6 mm。 4、低真空机组： 4.1空气相对湿度 ≤85%； 4.2工作环境5℃～40℃； 4.3抽气速率：不低于10m3/h； 4.4极限真空≤5*10-1Pa； 4.5工作压力范围：常压到1.33*10-2Pa； 4.6耐压值不低于0.03MPa； 4.7进气口和排气口口径KF25mm； 4.8噪音≤50dB； 4.9采用波纹管连接，手动挡板阀与波纹管相连。 5、电阻真空计参数： 5.1测量范围：105～10-1 Pa； 5.2测量路数：1路； 5.3控制范围：5*103～5*10 -1 Pa； 6、配套泵组： 6.1复合真空计，测量路数2路，控制路数4路，无源开关； 6.2含分子泵及控制器； 6.3含过渡腔。 7、低速切割系统： 7.1金属结合金刚石锯片，高浓度型，5英寸*0.015英寸（127*0.38mm）； 7.2镶嵌样品切割夹具，最大1?英寸直径； 7.3含V型切割夹具； 7.4含单鞍型切割夹具。
质保及售后服务
按行业标准提供售后服务
中国采招网（|bidcenter.com.cn ）

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