| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | PECVD镀膜机中国采招网（bidcenter. com.cn）] | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 推荐三个品牌：合肥百思、北京晓韬、贝意克 | ||
| 型号 | 无 | ||
| 规格参数 | 1、加热系统：1.1最高温度不低于1200℃；1.2炉膛直径不低于100mm，长度不低于1650mm；1.3炉膛材料为氧化铝、高温纤维制品；1.4热电偶类型为K型热电偶，控温精度±1℃，控温方式为不低于30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为工控电脑，内置PLC控制程序；1.5加热长度不低于440mm，恒温长度不低于200mm。2、PE射频电源：2.1信号频率13.56 MHz±0.005%；2.2功率输出范围不低于500W，最大反射功率不低于500W；2.3射频输出接口50Ω、N-type、 female；2.4功率稳定度±0.1%；2.5谐波分量≤-50dbc；2.6整机效率≥70%；2.7功率因素≥90%，冷却方式为强制风冷。3、三路质子流量控制系统：3.1连接头类型为双卡套不锈钢接头；3.2标准量程（N2）100sccm、200sccm；3.3准确度±1.5%；3.4线性±0.5～1.5%；3.5重复精度±0.2%；3.6响应时间：气特性1～4 Sec，电特性不高于10 Sec；3.7工作压差范围0.1～0.5 MPa；3.8最大压力不低于3MPa；3.9接口Φ6mm、1/4英寸；3.10显示：不低于4位数字显示；3.11压力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格；3.12截止阀Φ6 mm，内外双抛不锈钢管 Φ6 mm。4、低真空机组：4.1空气相对湿度 ≤85%；4.2工作环境5℃～40℃；4.3抽气速率：不低于10m3/h；4.4极限真空≤5*10-1Pa；4.5工作压力范围：常压到1.33*10-2Pa；4.6耐压值不低于0.03MPa；4.7进气口和排气口口径KF25mm；4.8噪音≤50dB；4.9采用波纹管连接，手动挡板阀与波纹管相连。5、电阻真空计参数：5.1测量范围：105～10-1 Pa；5.2测量路数：1路；5.3控制范围：5*103～5*10 -1 Pa；6、配套泵组：6.1复合真空计，测量路数2路，控制路数4路，无源开关；6.2含分子泵及控制器；6.3含过渡腔。7、低速切割系统：7.1金属结合金刚石锯片，高浓度型，5英寸*0.015英寸（127*0.38mm）；7.2镶嵌样品切割夹具，最大1?英寸直径；7.3含V型切割夹具；7.4含单鞍型切割夹具。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供售后服务 | ||
信息来自：https://www.easyjcx.com/?#/purchase/detail/b740863a-7ca1-4315-bcf0-466249d6b267
