招标编号：西工大招采（货）-2021-039号
1.招标条件
本项目已由上级部门批准建设，资金来源中央高校建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项资金，概算590万元，招标人为西北工业大学。本项目已具备招标条件，现进行公开招标，诚邀符合条件的投标人前来报名。
2.项目概况
项目概况：氧化硅等离子体刻蚀机利用射频电源使反应气体生成高活性的离子和电子，对材料进行物理轰击和化学反应，以选择性的刻蚀需要去除的区域，适用于4英寸及以内晶圆的SiO2和SiC材料高深宽比刻蚀工艺。
工期/供货期：自中标通知书发出之日起180日历天
3.投标人资格要求
3.1投标人应具有独立法人资格，具备有效的企业法人营业执照、税务登记证和组织机构代码（或标注统一社会信用代码的营业执照）。
3.2投标人出具有效的法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书、资格预审资料承诺书。
3.3法定代表人身份证（正反面）和被授权人身份证（正反面）。
3.4本项目不接受联合体投标。
4.资格审查方法
4.1本项目采用资格预审。
4.2疫情防控期间，不收取资格预审费。
5.报名
各报名单位先登录西北工业大学招标与设备采购中心（以下简称西工大招采中心）网站“供应商管理系统”进行网上报名，经西工大招采中心网上确认通过后，视为报名成功。
5.1网上报名
第一步：登录西工大招采中心网站“供应商管理系统”。
第二步：点击“供应商报名”，再点击“公开招标项目报名”，选择报名项目，填写供应商信息，按要求上传材料，核对无误后点击“提交”。
5.2网上确认
5.3后续招标过程中，各单位凭“用户名”和“登录密码”登录西工大招采中心网站“供应商管理系统”，获取相关通知和文件资料。
6.资格预审时间和提交资料
6.1资格预审时间：2021年06月01日
6.2提交资格预审资料的方式
6.2.2资格预审资料的提交邮箱为hwcg@nwpu.edu.cn。
提交时，请将所有资格预审资料的扫描件打包压缩，压缩文件名为：氧化硅等离子体刻蚀机项目资格预审资料（报名单位全称），添加为邮件附件。邮件主题为：氧化硅等离子体刻蚀机项目资格预审资料（报名单位全称）。
6.3接收资格预审资料的截止时间
6.4投标人（及拟派项目负责人）无不良行为记录且当前招投标资格状态有效，相关信息查询以政府诚信平台和学校不良行为记录为准，其中政府诚信平台是指信用中国和国家企业信用信息公示系统。
7．发布公告的媒介
中国政府采购网：http://www.ccgp.gov.cn/
西北工业大学官网“校园公告”：http://xygg.nwpu.edu.cn/xygg/zbxx.htm
西北工业大学招标与设备采购中心网站：http://zczx.nwpu.edu.cn/
8．联系方式
西北工业大学招标与设备采购中心
地址：西北工业大学友谊校区勇字楼120室
商务联系人：方老师电话（手机）：029-88493786
技术联系人：任老师 电话（手机）：18202906680
9.其他
9.1投标人如有围标、串标、借取他人资质或以其他方式弄虚作假等违法违规行为，一经查实，列入我校不良行为名单。
9.2本项目招标资料（包括：招标文件、答疑纪要和有关通知等）自动发送至资格预审合格单位的系统账户中，请各单位登录西工大招采中心网站的“供应商管理系统”下载，不再另行发放。
9.3法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书的模板请在西工大招采中心网站“下载专区-常用表单”栏目中下载。
9.4资格预审资料承诺书的模板请在西工大招采中心网站“下载专区-常用表单”栏目中下载，必须按照所提供的格式填写，否则按无效处理。
9.5本公告的解释权归西北工业大学招标与设备采购中心。
西北工业大学招标与设备采购中心
2021年05月17日
