化学机械抛光机
公开招标招标公告
项目概况
受嘉庚创新实验室委托，厦门市润桥招标代理有限公司对[350200]RQ[GK]*******查看详情、化学机械抛光机组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。
化学机械抛光机的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2022-02-25 09:15（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：[350200]RQ[GK]*******查看详情
项目名称：化学机械抛光机
采购方式：公开招标
预算金额：*******查看详情元
包1：
合同包预算金额：*******查看详情元
投标保证金：43000元
采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）
| 品目号 | 品目编码及品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 允许进口 | 简要需求或要求 | 品目预算（元） |
| 1-1 | A032103-电子工业专用生产设备 | 电子工业专用生产设备 | 1（1） | 是 | 一、主要技术参数1.样品尺寸： 通过更换抛光头可兼容4、 6、 8英寸晶圆：2.抛光盘直径：大于等于20inch ( 508m m);3.抛光盘与抛光头可快速更换， 更换抛光盘便捷方便：4.抛主光盘技术速范围：不低于150rpm;5.抛光头转速范围： 不低于150rpm;6抛光头摆动幅度： ±10mm，横向可控摆动～10psi; 7抛光头压力控制范围： 08. 抛光头压力控制精度：0.14psi;9. 保持环压力指 制范围： 0～10psi;10.配有抛光垫修整盘： 金刚石修整片： 11.修整盘转速： 不低于 150rpm;12.修整盘压力控制范围： 0～10psi;13.压抛光处理后的片内 C WIWNU ）及片间（WTWNU）厚度非均匀性NU(1sigma）运5% C1sigma，去边 5mm);14.可用于各类半导体集成电路， Si02 等氧化物薄膜，Cu, Al等金属， STI, LT、 LN、 SiC、 lnP、 GaAs 等各类产品的平坦化抛光；15.化学抛光后： Si02 的粗糙度 Ra运0.4nm; Si (6英寸晶圆〉的粗糙度Ra运1.3nm; ITO 的粗糙度 Raζ0.5nm;二、设备配置及要求1.需要配有4英寸、 6英寸、 8英寸抛光头；2.全封闭机，配有抛光盘冷却系统，内置水气枪3.抛光头带有背压控制4.自动上下片，自动抛光：5.具有清洗功能， 可实现干进干出6.采用电脑数字化控制，触屏界面控制，系统需包含摩擦系数功能监测，终点检测及抛光垫温技术测等功能·7.真空系统配备干真空泵以减少超净空间的污染；8.需配备抛光垫平面修整装置；9.具有完整的抛光液供应系统，可通过蠕动泵控制抛光液的流量，至少 包含3路独立通道，分别供应不同种类的抛光液；10.工艺耗材：1）应配置适用于晶圆、ITO材－料的抛光液和抛光垫；2）每种抛光液不少于40kg，每种抛光垫不少于5张；3）金刚石修整器配置不少于2套： | *******查看详情 |
本合同包：不接受联合体投标
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.本项目的特定资格要求：
包1
(1)明细：信用记录要求（招标文件其他地方要求与本条款要求不一致的，以本条款要求为准）。描述：依据《财政部关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》财库〔2016〕125号规定及厦门市财政局《关于进一步规范供应商信用记录查询使用的通知》（厦财采〔2020〕14号）的规定执行，具体要求如下：1、信用信息查询渠道：资格审查小组通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）、“信用厦门”网站（credit.xm.gov.cn）查询所有投标人的信用信息。2、截止时点：查询本项目投标截止时间点前三年内的信用信息。 3、查询记录和证据留存方式：资格审查小组将查询结果网页打印后随采购文件一并存档。4、信用信息的使用规则： （1）查询结果显示存在不良信用记录（包含列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单、受到行政处罚且处罚金额达到处罚所在地听证标准，且相关信用惩戒期限未满及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件）的投标人，其资格审查不合格。（2）联合体参加政府采购活动的，资格审查小组将对所有联合体成员进行信用记录查询，联合体成员存在不良信用记录的，视同联合体存在不良信用记录，联合体资格审查不合格。（3）因查询渠道网站原因导致查无投标人信息的，不认定投标人资格审查不合格；评审结束后，通过其他渠道发现投标人存在不良信用记录的，不认定为资格审查错误，将依照有关规定进行调查处理。（4）投标人无需提供信用信息查询结果。若投标人自行提供查询结果的，仍以资格审查人员查询结果为准。
(2)明细：财务状况报告、依法缴纳税收和依法缴纳社会保障资金的相关材料要求（招标文件其他地方要求与本条款要求不一致的，以本条款要求为准）。描述：1、根据《厦门市财政局关于进一步减轻供应商参与政府采购活动成本负担的通知》（厦财采〔2021〕5号）文件要求，本项目基本资格条件不再要求提供财务状况报告、依法缴纳税收和社会保障资金的相关证明材料，改为采取“信用承诺制”，投标人在投标文件中提供资格承诺函（格式见采购文件附件）的即可参加采购活动。2、投标人应当遵循诚实信用原则，不得作虚假承诺。投标人承诺不实的，属于提供虚假材料谋取中标、成交，应依法承担相应的法律责任。3、投标人可自行选择是否提供资格承诺函，若不提供资格承诺函的，应按采购文件要求提供相应的证明材料。
（如项目接受联合体投标，对联合体应提出相关资格要求；如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。)
三、采购项目需要落实的政府采购政策
强制采购节能产品，适用于（合同包1），按照节能产品政府采购品目清单执行。采购环境标志产品，适用于（合同包1），按照环境标志产品政府采购品目清单执行。强制采购信息安全产品，适用于（合同包1）。促进中小企业发展政策，适用于（合同包1）。支持监狱企业发展政策，适用于（合同包1）。促进残疾人就业政策，适用于（合同包1）。信用记录，适用于（合同包1）。
四、获取招标文件
时间：2022-01-25 17:00至2022-02-20 00:00（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至11:59:59，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外)
地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。
方式：在线获取
售价：免费
五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
2022-02-25 09:15（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日）
地点：
六、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
七、其他补充事宜
无 中国采招网 （bidcenter.com.cn）%
八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：嘉庚创新实验室
地址：厦门市思明区思明南路422号亦玄馆
联系方式：****-*******查看详情
2.采购代理机构信息（如有）
名称：厦门市润桥招标代理有限公司
地 址：厦门市思明区天湖路103号704室之三
联系方式：****-*******查看详情
3.项目联系方式
项目联系人：洪琪翔
电 话：****-*******查看详情
网址：zfcg.czt.fujian.gov.cn
开户名：厦门市润桥招标代理有限公司
厦门市润桥招标代理有限公司
2022-01-25
