仪器设备招标公告

甘肃省科学院传感技术研究所对“甘肃省重点产业创新能力建设”项目中仪器设备拟单采用一来源方式采购，现将有关情况予以公示。
（一） 采购人：甘肃省科学院传感技术研究所
（二） 项目名称：“甘肃省重点产业创新能力建设”项目
（三） 拟采购内容：匀胶旋涂仪1台；湿法刻蚀显影机1台
（四） 拟采购设备说明：
1）、匀胶旋涂仪（生产商：美国Laurell公司型号：WS-650Mz-23NPPB） 中国采招网（bidcen ter.com.cn）:
该高精度匀胶旋涂仪由旋涂系统、配套装置、控制系统和分析软件组成。可完成2～6英寸晶圆片和方片的光刻胶自动滴胶、自动旋涂、自动去胶边功能。其所有的功能都能实现智能控制，而且可通过软件批量控制工艺处理数据，集成最新的蓝牙连接技术。
2）、湿法刻蚀显影机（生产商：美国Laurell公司型号：EDC-650Hzb-23NPPB）
该湿法刻蚀显影机台由试剂供给管路，样片处理腔、排废装置、控制系统和分析软件组成。可完成2～6英寸晶圆片和方片光刻胶显影、定影、漂洗、甩干。其所有的功能都能实现智能控制，而且可通过软件批量控制工艺处理数据，集成最新的蓝牙连接技术。
（五） 采用单一来源采购方式的原因：
目前，国内研发、生产、市售的匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机没有一款参数能满足我所磁性芯片研制要求，如：自动滴胶中光刻胶自动回吸功能和自动去胶边功能；湿法刻蚀显影机的双向旋转功能和顶盖阀门自动控制功能都是所有国产设备中所不具备的功能。国外市售匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机，对比之下美国Laurell公司的匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机性能参数不仅能满足我所磁性生物芯片研制要求，还具有性价比高、功能全的特点；目前只有该公司的匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机拥有的功能有：a、10~150mm范围内，无需更换托盘；b、保护气流对旋转马达进行气流保护；c、防止飞片设计；d、独家专利的顶盖阀门控制技术（VoD）；e、差压控制技术；
（六） 拟定的唯一供应商：迈可诺技术有限公司（上海市徐汇区百色路1398号冠军大楼0411室）
（七） 专业人员论证意见：
专业人员：
1、何山虎高级工程师（兰州大学物理科学与技术学院）
研究方向：半导体工艺技术、敏感与传感器件
2、刘肃教授（兰州大学物理科学与技术学院）
研究方向：半导体器件与集成电路
3、张国斌研究员（中国科学技术大学国家同步辐射实验室）
研究方向：同步辐射光学
何山虎：本人仔细阅读了甘肃省科学院传感技术研究所提供的“匀胶旋涂仪和湿法刻蚀显影机”的具体配置、相关参数和供货方信息，认为：传感所进行高端磁性微纳MEMS生物芯片研发工作，对图形化工艺每台设备的精细化程度要求较高，这对设备的硬件和软件要求非常苛刻，尤其是匀胶旋涂仪和湿法刻蚀显影机是图形化工艺的主体设备，如果设备稳定性、控制性和重复性稍有变化对芯片的合格率将是致命的损伤，所以，在设备选型时不光注重参数达标，而且更重要的是硬件配置的智能控制和协调性上要有严格要求。美国Laurell匀胶旋涂仪自动滴胶中光刻胶自动回吸功能和自动去胶边功能；湿法刻蚀显影机的双向旋转功能和顶盖阀门自动控制功能都是所有国产设备中所不具备的功能。国外市售匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机，对比之下美国Laurell公司的匀胶旋涂仪、湿法刻蚀显影机性能参数不仅能满足磁性生物芯片制作要求，还具有性价比高、功能全的特点。鉴于整体系统的高要求和特殊性，该设备必须在美国Laurell公司采购。
刘肃：本人仔细阅读了甘肃省科学院传感技术研究所提供的“匀胶旋涂仪和湿法刻蚀显影机”的具体配置、相关参数和供货方信息，根据我们实验室使用的经验，并与同领域的其他专家进行了交流和沟通，认为：系统要求的均匀性、双向旋转速度、原液的自动控制都超出了普通该类产品的性能参数，要达到传感所要求的片内均匀性、旋转加速度、设备自动正反清洗、原液自动控制，对系统的其它配件如电机配置、气液管道控制、定位器精度等都有相当高的制作要求；尤其是系统要求的片内均匀性小于1℅，目前国内的最高端最精密的匀胶旋涂仪和湿法刻蚀显影机只能做到3℅。美国Laurell公司两款产品既能做到均匀性小于1℅还能进行气液管道灵活转换控制，而且该公司是专业生产小型湿法刻蚀类产品的公司，具有相当的经验，能够为该采购设备提供较强的技术保障，也便于需要较好的后期维护和日常运行。鉴于整体系统的高要求和特殊性，该设备必须在美国Laurell公司采购。
张国斌：本人仔细阅读了甘肃省科学院传感技术研究所提供的“匀胶旋涂仪和湿法刻蚀显影机”的具体配置、相关参数和供货方信息，根据我们实验室使用的经验，并与同领域的其他专家进行了交流和沟通，认为：美国Laurell公司两套设备中对10~150mm范围内，无需更换托盘，有效避免其他同类设备，由于频繁更换托盘，造成的托盘卡口松动，缺失水平，影响旋涂效果和独家专利的顶盖阀门控制技术（VoD），与其他湿法处理设备的单一喷嘴不同之处，在VoD系统能够通过调节纯水和氮气的压力组合，在注射端控制注射口的清洗，以及腔体内部的清洗，避免显影清洗甩干后的样片受到注射段或者腔体内壁的残留液二次污染的这两大功能都是同行业设备中所不具有专利功能。并且这两大功能在使用便捷度和产品稳定性、均匀性上对传感所的磁性芯片制作意义重大。鉴于整体系统的高要求和特殊性，该设备必须在美国Laurell公司采购。
（八） 公示期限：自发布之日起5个工作日
（九） 采购方代表：李工农
（十） 甘肃省财政厅政府采购办公室
联系人：张瑜
联系电话：****-*******查看详情
地址：兰州市城关区东岗西路696号
十一、任何供应商、单位或者个人对该项目采用单一来源方式有异议的，可以在公示期结束后两个工作日内将书面意见反馈给省财政厅政府采购办公室并同时抄送采购人。
联系电话：****-*******查看详情
联系人地址：兰州市城关区定西南路229号