| 项目名称 | 原子层沉积机 | 项目编号 | JJ**********查看详情 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****47000 | 公告截止日期 | 167*****00000 |
| 采购单位.中国采 招网（bidcenter.com.cn） | 南开大学 | 付款方式 | 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签定生效后10个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 南开大学津南校区材料科学与工程学院523室 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积机 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 北加州 |
|---|---|
| 型号 | TALD-150R |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1.腔室：可放下最大6英寸晶圆，反应温度最高400；2.前驱体源系统：加热源3路，常温源1路，臭氧源1路，两路载气并预留2个接口；3.真空系统：极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S包含：4.配置机械油泵，额定抽速＞16m3/h，真空泵前级配置热阱；5.配置真空计,真空计前设有过滤网以及气动隔膜阀；6.PLC+工控机沉积自动控制系统，搭载自动控制软件6.基于windows的可视化操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；7.沉积模式：连续模式、停流模式；8.在 6 英寸硅晶圆上沉积 500 循环氧化铝，膜厚非均匀性≤±1%为合格； |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/12/01/20LB55NIRYSZILCE.shtml
