| 申购单基本信息： | |||
| 单据编号 | ********查看详情00030 | 设备类型 | 仪器仪表 |
| 竞价名称 | 匀胶旋涂仪 | ||
| 币种 | 人民币(元) | 是否公开信息 | 否 |
| 截标时间 | 2015-06-09 00:00 | 收货时间 | 2015-06-15 |
| 收货地点 | 湖北省武汉市珞瑜路1037号华中科技大学武汉光电国家实验室E2区4楼 宋海胜 | ||
| 竞价描述( 备注) | 1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)； 2、* Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm； 3、* 转动速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空载）； 5、* 马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%； 6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm； 7、* 工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度； 8、* 匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方； 9、* 高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。 10、* 程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态； 11、* 分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！] 10． * 电子绝缘负载双保护装置； 11． 嵌锁的安全盖板； 12． 防腐装置； 13． 保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气和压缩气体，对旋转马达进行气流保护； | ||
| 附件 | |||
| 成交金额 | |||
| 申购单设备信息： | |||
| 设备名称 | 设备型号 | 设备规格 | 数量 |
| 匀胶旋涂仪 | WS-650MZ-23NPP | 9.5英寸 (241 毫米) | 1 |
| 公司名称： | 华中科技大学实验室与设备管理处 | ||
| 地址： | 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号 | ||
| 电话： | ***-********查看详情 ***-********查看详情 | ||
