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深圳大学光刻配套系统意向公开

来自：采招网（www.bidcenter.com.cn） 配套

所属地区 广东省-深圳市 发布时间 2023/8/16 关键词配套   近期更新59246项目点击关注“配套”实时招标项目
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深圳大学光刻配套系统意向公开
2023/8/16 22:09:00

采购单位: 深圳大学
项目名称: 光刻配套系统
预算金额（元）: 2,130,000.000
采购品目: 电子工业生产设备
采购需求概况: 该套系统由显影机、匀胶机、烤胶机、晶圆甩干机、超声清洗机、通风厨组成。超声清洗机利用超声破坏污物与晶圆间的吸附，达到清洗的目的；晶圆甩干机晶圆清洗后干燥设备；匀胶机利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，以便进行光刻曝光；显影机用于掩膜版上的图案复刻在晶圆上，通过溶解光刻胶使图形进行复刻；通风厨保护操作人员不受化学药品、气体的污染，该系统能够应用于光刻前后的工艺实施操作。
联系人: 王老师
联系电话: 0755-********查看详情
预计采购时间: 2023-09
备注: 无
?中国采招网（ bidcenter.com.cn）
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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