紫外光刻机(GY*********查看详情)自购结果公示
发布时间：2023-11-24
该项目经自行采购程序，允许自购：
| 供应商： | 三河建华高科有限责任公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ******查看详情 |
| 公示开始日期 | 2023-11-24 | 公示截止日期 | 2023-11-25 09:35:37 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 集成电路学院 | 付款方式 | 1. 合同签订后 7 日内由采购方向供货方支付合同总价 30%预付款。2. 设备发货前，采购方需再向供货方支付合同总价 60%的发货款。3. 设备验收合格后采购方付清所有余款。 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东省济南市高新区舜华路1500号山东大学软件园校区教研楼3B-B104 | ||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 紫外光刻机 | 1 | 台 |
| 品牌 | 三河建华 | 规格型号 | BG-401B |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 曝光类型：单面；曝光面积：100×100mm；曝光照度不均匀性：≤3%；曝光强度：≥20mw/cm2，可调；紫外光中心波长：365nm；紫外光源寿命：≥2万小时；曝光分辨率：1μm；曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；显微镜扫描范围：X：±50mm Y：±50mm；对准范围：X、Y±5mm；θ±12°；套刻精度：1μm；显微系统：三目头显微镜，双视场CCD系统，目镜10X，物镜10X，物镜分离距离：28～90mm；扫描范围：50×50mm；调焦范围：8mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；基片厚度：≤5 mm；曝光定时：0～999.9秒可调；配套掩模版架：3英寸、5英寸；配套承片台：2英寸、4英寸各一个；配套真空泵一台配套光强计一台。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-11-24
