| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 匀胶旋涂仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2019-03-14 15:25 |
| 竞价结束时间： | 2019-03-19 13:30 竞价已结束 |
| 申购备注： | 申购人：jinhua |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 |
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| 武汉迈可诺科技有限公司 | 匀胶旋涂仪 | 1 | Laurell | WS-650Mz-23NPPB | 按行业标准提供服务 | 技术参数及规格要求 1、 系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； ▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)； 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、 旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1％； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； ▲4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006％； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； ★4.4 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹； 5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ； 6、系统附件 6.1 原装进口水平测试仪；6.2 两袋密封圈；6.3 配有两套可更换的废液接收单元；备注：如果是代理公司竞标，必须有原厂代理或授权证书文件 | 59220.0 |
