AlphaStep D-300 台阶膜厚仪（清设比选********查看详情号）采购公告
发布时间：2019-07-25 16:59:56阅读量：8 次
| 采购项目名称 | AlphaStep D-300 台阶膜厚仪 | 采购项目编号 | 清设比选********查看详情号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2019-07-25 16:59:56 | 公告截止时间 | 2019-07-28 17:00:00 |
| 采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30% |
| 对外联系人 | 白净卫 | 联系电话 | 188*****120 |
| 签约时间要求 | 成交后10个工作日 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后25个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| AlphaStep D-300 台阶膜厚仪 | 1 | 台 |
| 品牌 | KLA |
|---|---|
| 型号 | AlphaStep D-300 |
| 技术参数及配置要求 | 1)扫描时最小正压力: 0.5mg (软件可编程选择和自动控制,无需手动) 2) 一台设备需具有大量程 和 小量程双探测器的新设计,即在大量程1.2mm时不丢失仪器的最高分辨率0.38A和最高精度5A（1um台阶标样） 3)最佳垂直分辨率: 0.38A 4) Z测量重复精度:保证5A重复性(1um台阶标样) 均在0.5mg超微力下，无防震台下验收 5)最大垂直测量范围: 1000um 6)样品需具有双向扫描测量的功能,方便定位和扫描 7)最大采样点数400,000 8)扫描长度50um-30mm可以拼接扫描到150mm;扫描速度0.01-0.4mm/s 9)需有独特的系统内置避震设计, 无需防震台可通过验收 10)30+个分析参数 11)XY手动样品运动台,样品台360度旋转,可调倾斜角度+/_2度 12)有KLA标定证书的1um标样一块 13)500万像素彩色摄像头 配备Keystone视频校正,自动4倍变焦, 14)系统配有150x150mm超大平晶 15)无限量免费提供离线处理软件 16)Windows 7软件平台和电脑一套 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2019-07-25 16:59:56
