中国科学院合肥物质科学研究院手套镀膜箱系统招标公告
一、信息发布单位
中国科学院合肥物质科学研究院(等离子体物理研究所)
二、标的内容
手套镀膜箱系统 一套
三、技术参数
（一）基本组成：
系统主要由两套手套箱A和B、一套高真空蒸发镀膜系统组成。其中真空镀膜系统和样品退火炉放置在手套箱A内，手套箱B内放置旋涂仪，两个手套箱连接样品可以在保护环境下在2个手套箱内进行传递；此外系统含有真空获得及测量系统、膜厚测量、电源及控制系统等。
（二）主要技术性能指标：
1、镀膜机的真空获得与测量：
1.1 真空获得
真空蒸发镀膜系统为一套涡轮分子泵+机械泵机组，设计有旁路抽气回路。
1.2 系统真空指标
1.2.1极限真空:
系统经24小时连续烘烤（150℃以下）抽气，其极限真空≤5×10-5Pa。
1.2.2抽气速率：
从大气开始抽气，在≤30分钟内，其真空度≤6×10-4Pa。
1.2.3系统漏率：
用氦质谱检漏仪检漏，漏率≤5×10-8Pa L/S。
2、镀膜机主体：
2.1手套箱A：
手套箱A内放置一套真空蒸发镀膜系统、1套样品退火炉。镀膜机真空室内尺寸为300×300×450mm（或稍大），前开门；镀膜室在手套箱后侧留有可临时打开用于清理真空室的的活门。在手套箱内可以完成样品的取送、包装等操作，手套箱为气体置换方式得到样品的保护环境。
2.1.1蒸发镀膜室：
内有2组金属蒸发源和1组有机蒸发源，预留金属蒸发源共蒸发功能。在真空室上方有样品托架，样品托架高度可调，基片到蒸发源距离可调。基片尺寸为25×25mm（以后可以根据需要调整大小）
2.1.2样品退火炉：
对样品进行加热退火，加热温度从室温-300℃。
2.1.3手套A左侧有1个小过渡仓，右侧与手套箱B相连。
2.2、手套箱B：
2.2.1左侧与手套箱A相连，连接处设一个阀门用于隔离两个手套箱；右侧为大过渡仓。
2.2.2涂胶机放置在手套箱B内。箱体留3组电级引线接口。
2.2.2在手套箱B内可对样品进行测试。
3、手套箱A技术指标：
3.1不锈钢箱体，尺寸约1500mm（长）X450mm（宽）X900mm（高），手套口3个，手套3只，在其内有镀膜室1个和退火炉1台。
3.2主体手套箱A：
3.2.1、左侧设有1个小过渡仓，右侧与手套箱B相连；
3.2.2在-10 mbar下，泄露率﹤0.01vol%/h；
3.2.3水氧残余量的指标：H2O﹤1ppm和O2﹤1ppm；
3.3净化系统（单套）含：净化柱1个（饱和后可再生）、低噪高效风机、电气动控制的循环主阀、KF40标准接口等；气路均由电磁阀控制，净化柱再生全自动控制。
3.4控制系统：采用松下PLC控制系统，配触摸屏控制面板和德国电磁阀，具有以下功能：单键就可实现过渡舱多次抽充气操作，自动控制箱内压力，箱体气氛自动报警，避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛；采用脚踏开关，再操作时可以方便调节箱内的相对压力；在箱内有电源接口，配有多孔插座。
3.5含有机械泵1台，低噪声，抽速约8L/s。
3.6氧分析仪和水分析仪均采用美国进口部件。
4、手套箱B技术指标：
4.1不锈钢箱体，尺寸约1000mm（长）X650mm（宽）X900mm（高），手套口2个，手套2只，在其内有旋涂仪1台（用户提供），旋涂仪与手套箱公用真空抽气系统。箱体上有旋涂仪所用的气路口。手套箱B中可测试样品，设一个用于测量的石英窗口，尺寸Φ100mm左右。
4.1.1手套箱B左侧与主体手套箱A连接，设一个阀门来隔离两个手套箱；
右侧为大过渡仓。在手套箱B内可放涂胶机。箱体留3组电极引线接口。
4.1.2在-10 mbar下，泄露率﹤0.01vol%/h；
4.1.3水氧指标：H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm
4.2净化系统（单套）含：净化柱1个（饱和后可再生）、低噪高效风机、电气动控制的循环主阀、KF40标准接口等；气路均由电磁阀控制，净化柱再生全自动控制。
4.3控制系统：采用松下PLC控制系统，配触摸屏控制面板和德国电磁阀，具有以下功能：单键就可实现过渡舱多次抽充气操作，自动控制箱内压力，箱体气氛自动报警，避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛；采用脚踏开关，再操作时可以方便调节箱内的相对压力；在箱内有电源接口，配有多孔插座。
4.4含有机械泵1台，低噪声，抽速约8L/s。
4.5氧分析仪和水分析仪均采用美国进口部件。
5、电源配置：
5.1 金属蒸发电源1台；
5.2主控电源1台；
5.3 国际标准电控柜2台。
6、设备附件：无氧铜密封圈及氟橡胶密封件每个规格备一套。
四、完成时间及地点
1、完成时间：合同约定
2、项目地点：中国科学院合肥物质科学研究院等离子体所区
五、投标须知
1.投标书应包含以下内容
1.1.企业营业执照（工商局）、企业代码证、质量认证证书等证书复印件，提供虚假证书将取消投标单位投标资格；
1.2.企业简介及相关业绩；
1.3.针对公告中要求的技术响应及质量保证措施；
1.4.联系人、联系电话、E-mail、传真；
1.5.技术标（含1.1-1.2-1.3）一正一副，商务标一正（报价单及详细的分项报价部分，含1.4）请另外单独密封，标书的封面上要注明投标的项目名称，技术标在开标前先行开启，事先送达专家和责任工程师。
2.报名、投标截止时间：2011年6月24日16：45时
六、评标办法
在投标截止后组织专家首先对全部投标人进行资质审查，然后进行技术方案审查，最后综合技术及价格确定中标人，未中标者不再另行通知，投标书不退回。报名（标书）费为壹佰元整（CNY100.00元），未中标者不解释原因、不退回报名费。
报名（标书）费可通过银行转账办理，银行账号信息如下：
户名全称：中国科学院合肥物质科学研究院
开户行：工行合肥高新开发区支行董铺分理处
帐号：13020 11909 26890 0027
国税号：34010 47178 06802
七、联系方式
联 系 人：宋女士 傅先生
Tel / Fax ：****-*******查看详情
电子信箱：jcht@ipp.ac.cn 单位网址：www.ipp.cas.cn中国采招网（bidc enter.com.cn）:
通信地址：合肥市1126号信箱计财办 邮政编码：230031
温馨提示：
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