上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2020-06-24在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********查看详情2221/05
招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第九批——等离子体多晶硅刻蚀机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1中国 采招网%（bidcenter.com.cn） | PDFN 压机 | 1 | 1.合模：合模夹紧方式采用交流伺服马达控制，合模压力为30t～180t可调2.引线框架方向识别判断3.料饼自动供给并自动检测4.注胶压力3.92~49.0knf,可调 | / |
| 2 | 真空回流炉 | 1 | ﹡1.INPUT1）自动上料，包含slot magazine上料；2）上料系统自带料盒检测，卡料检测；3）上料机至少可以同时放置4个料盒；4）上料机连接真空回流炉子4个轨道。每一个轨道都需要安装一个扫码枪，读取框架上的二维码，按照料盒放料顺序，逐一出料；﹡2.真空回流炉1)加热区: 5个预热区+4个高温区+1个真空区；2)三个冷却区；3)轨道：采用4通道轨道，链条传输无抖动，速度可调；4)炉温测试仪﹡3.OUTPUT1)自动下料，slot magazine下料;2)下料机按照进料顺序收料，4个轨道中的每一个轨道都需要安装一个扫码枪，读取框架上的二维码，顺序不可以打乱;3)下料系统自带料盒检测，卡料检测;4)下料机至少可以同时放置三个料盒.﹡4.设备必须带SECS-GEM通讯 | / |
| 3 | 低压退火设备 | 1 | 修复表面晶格损伤，均匀性好 | / |
| 4 | 化学气相沉积 | 1 | 实现片内高均匀性的薄膜沉积(W CVD) | / |
| 5 | 等离子体多晶硅刻蚀机 | 1 | 1.实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:13.Chamber 与chamber 差异小于5%。 | / |
| 6 | 氧化刻蚀机 | 1 | 1.实现氧化刻蚀要求etch rate >1500A/min2.主刻蚀比氧化层选择比大于150:13.Chamber 与chamber 差异小于5%。 | / |
| 7 | 干法去胶机 | 1 | 1.Strip Rate:56000+/-3000A/min2.Strip Rate Uni :<8%3.WPH>120P/H | / |
| 8 | 光阻固化低温退火炉 | 1 | 实现光阻固化退火，修复表面晶格损伤，均匀性好 | / |
| 9 | 晶圆背面刻蚀机 | 1 | 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对晶背进行刻蚀以达到需要的要求 | / |
| 10 | 晶圆清洗机 | 1 | 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对光阻进行去除以达到需要的要求 | / |
| 11 | 低应力氮化硅生长炉 | 1 | 实现场低应力氮化硅层的生长，达到厚度及均匀性指标 | / |
| 12 | 高束流离子注入机 | 1 | 实现阳离子注入晶圆内部，达到总剂量，厚度分布及均匀性指标 | / |
| 13 | 贴片机 | 3 | 1.采用Stack loading方式自动上料2.可以满足12寸， 8寸Wafer生产3.配置点胶或者点锡膏系统4.配备加热系统5.支持SECS-GEM通讯标准（HSMS）6.配备扫码枪，可以扫条形码，二维码 | / |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2020-06-24
招标文件领购结束时间:2020-07-02
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2020-07-15 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:李晓玲
联系方式:****-********查看详情 -62339
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号
联系人:王鼎 应秋祺
联系方式:***-********查看详情
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
