控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV， 数字化控制及显示，1台。8.工作气路系统 质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，10sccm；O2，10sccm；9.膜厚不均匀性 ≤±5%（单靶镀膜，基片台Φ120mm范围内）；10.控制方 查看详情>>
集成电路生产线项目射频电源校准系统工具采购 变更公告 编号：WDZBGGG202312250005 本公司于2023年12月21日发布的润鹏半导体12吋集成电路生产线项目射频电源校准系统工具采购采购公告（编号：DZCGXY202312210004），现做出如下变更： 类型 变更前时间 变更后时 查看详情>>
：射频：14.优化射频电源和干泵设计，保证安静快速真空。 1包项目需求和技术方案-货物明细:2；器件在线清洗机（核心产品），原内容：射频：5.清洗速度：单次清洗循环时间约 30S；->变更为：射频：5.清洗速度：单次清洗循环时间≤30S；。 1包项目需求和技术方案-货物明细:2；器件在线清洗机 查看详情>>
有限公司润鹏12吋射频电源校准系统工具项目招标公告 根据项目进度，润鹏半导体（深圳）有限公司润鹏12吋射频电源校准系统工具项目已具备招标条件，现进行公开招标。一 项目基本情况 招标人：润鹏半导体（深圳）有限公司 建设地点：深圳市宝安区燕罗街道山门社区三工业区44号 项目规模：/ 项目资金来源：自筹 查看详情>>
Mattson机台射频电源改造 变更公告 编号：WDZBGGG202308020002 本公司于2023年07月26日发布的Mattson机台射频电源改造采购公告（编号：DZCGXY202307260009），现做出如下变更： 类型 变更前时间 变更后时间 报价截止时间 2023年08月03 查看详情>>
起化学反应的气体，射频电源将反应气体电离产生等离子体，基底被浸渍于高反应活性的等离子体中，基底表面未被掩蔽的部分与气体离子进行反应，反应产物呈气态排出腔室，从而实现材料刻蚀； 2） 该设备主要用于硅快速刻蚀及其他硅基材料的刻蚀，在衬底上形成高深宽比（如Aspect Ratio100以上）的图案结构微 查看详情>>
6 射频电源及匹配器 1 个 品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 1、输出功率： 0-300W2、功率稳定度 ：≤±0.5%3、输出频率 ：13.56MHz4、频率信号 ：标准正玄波5、输入电压 ：AC180-250 查看详情>>
13.56MHz 射频电源150W，自动匹配；3、进气系统：采用100SCCM 质量流量控制器控制系统进气；4、真空测量：采用电阻真空规管，模拟量输出，触摸屏显示；5、控制系统：采用PLC+触摸屏组成自动控制系统；6、设备尺寸：0.5*0.5*0.45 米；7、设备供电：单相220V，功率1KW。质 查看详情>>
永磁靶，配两套进口射频电源、一套进口直流电源，配备3条气路；手套箱为三工位，水氧指标均小于0.1ppm；要求制备出高性能的正极（容量大于60μAh/cm2/μm）和固态电解质薄膜（电导率大于1×10-4S/cm）；同批次镀膜厚度均匀性≤3%。售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;质保期2年 查看详情>>
于500W；4.2射频电源数量1个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于500W.4、溅射电源配置：▲4.1直流电源数量2个，可同时连接≧4个靶枪，功率不小于500W；4.2射频电源数量2个，可同时连接≧1个靶枪，功率不小于300W；5★6、沉积的均匀性优于±2.5%(4寸范围，100nm涂层)，可用于 查看详情>>
是否正常工作、监测射频电源系统是否正常工作、监测真空系统是否正常工作；监视并提示本灭菌机是否需要做保养和维护；监测过氧化氢在真空室内的汽化是否良好。16、报警系统：具备过程监控报警装置，可以针对影响灭菌的最关键因素—真空度、器械表面潮湿程度和灭菌舱内H2O2含量，进行检测报警，还可针对真空系统、注液 查看详情>>
项目名称直流电源和射频电源采购（陈廷勇课题组）项目编号SUSTech-JC-2022-01287成交方式最低价成交采购方式公开竞采终止理由项目申报信息有误公告发布时间2022-07-22 23:02:47预算(元)770000.00备注采购明细序号名称数量单位1直流电源（核心货物）2台品牌无推荐品牌 查看详情>>
镀膜的钇灯丝。交流射频电源，1.2MH，更换交频电源可升级更换质量数范围1-16000之间可选。1.2检出限：法拉第杯：20ppm-100%1.3电子倍增器：500ppb-100%。1.4稳定性：仪器30天的稳定性为+/- 0.5%（RSD），基于空气中1.00% 氩气。1.5分析精度：0.0025 查看详情>>
天合光能MRO采购招标XHX-射频电源（霍延格）维修20220606-射频电源维修保养射频电源品牌型号：霍廷格，TruPlasmaBipolar4030(G2.1,PC,TR)2×15，SN：206078300。故障现象：进水，电路板故障，通讯异常,射频
招标变更 | 2022-06-06丨 江苏
O采购招标XHX-射频电源（霍延格）维修20220606-射频电源维修保养 射频电源品牌型号：霍廷格，TruPlasma Bipolar 4030(G2.1,PC,TR)2×15，SN：206078300。故障现象：进水，电路板故障，通讯异常,射频电源品牌型号：霍廷格 TruPlasma Bipol 查看详情>>
W1台；全自动匹配射频电源 500W 1台；真空计 1台；控制电源 1台；加热电源 800W 1台；售后及质保要求保修期一年，保修期自货物验收合格之日起计算。响应方应在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。付款方式货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后付95％的货款；余款5％待质保期 查看详情>>
1台；4)美国AE射频电源1台：600W，自动匹配。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片工位：安装4英寸基片1片；3)基片加热：基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿 查看详情>>
名称：离子源配件（射频电源、匹配器、中和器）二、项目终止的原因：截止采购文件获取时间，供应商不足三家，本次项目终止，重新开展采购活动。三、其他补充事宜采购方式：询比采购；公告期限：自本公告发出之日起1个工作日。四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：中国工程物理研究院激光 查看详情>>
采购项目名称：低频射频电源首次公告日期：2021年7月16日二、更正信息更正事项：?采购公告 □采购文件 □采购结果□合同公告更正内容：获取采购文件时间：2021年7月22日至2021年7月24日更正为：2021年7月22日至2021年7月26日更正日期：2021年7月23日三、其他补充事宜无四、凡 查看详情>>
63项目名称：低频射频电源等项目联系人：李海燕联系方式：0816-2484091二、终止原因有三家公司响应，在评审过程中只有两家公司通过符合性审查，评审小组认为不具备竞争性，询比采购活动终止。三、终止日期2021年7月15日四、其它补充事项无五、联系方式采购人：中国工程物理研究院流体物理研究所联 系 查看详情>>
63项目名称：低频射频电源项目联系人：李海燕联系方式：0816-2484091二、终止原因三家供应商投标，其中两家供应商未通过资格审查，只一家通过资格审查，不符合询比采购要求。三、终止日期2021年06月24日四、其它补充事项无五、联系方式采购人：中国工程物理研究院流体物理研究所联 系 人：杨兴林联 查看详情>>
项目名称60MHz射频电源测试平台采购项目品目采购单位季华实验室行政区域市辖区公告时间2021年06月10日14:51首次公告日期2021年06月02日更正日期2021年06月10日联系人及联系方式：项目联系人欧阳小姐项目联系电话0757-81993027采购单位季华实验室采购单位地址广东省佛山市南 查看详情>>
备注1 1000w射频电源 13.56MHz，1000W 2 2 1000w射频电源带脉冲 13.56MHz，1000W，有脉冲功能 1 3 1000w匹配器 13.56MHz，1000W 3售后及质保要求1. 交货期的要求：签订合同后天30内，具体时间根据学校要求提前7天通知送货2. 质保期：1年 查看详情>>
备注1 1000w射频电源 13.56MHz，1000W 2 2 1000w射频电源带脉冲 13.56MHz，1000W，有脉冲功能 1 3 1000w匹配器 13.56MHz，1000W 3售后及质保要求1. 交货期的要求：签订合同后天30内，具体时间根据学校要求提前7天通知送货2. 质保期：1年 查看详情>>
备注1 1000w射频电源 13.56MHz，1000W 2 2 1000w射频电源带脉冲 13.56MHz，1000W，有脉冲功能 1 3 1000w匹配器 13.56MHz，1000W 3售后及质保要求1. 交货期的要求：签订合同后天30内，具体时间根据学校要求提前7天通知送货2. 质保期：1年 查看详情>>
备注1 1000w射频电源 13.56MHz，1000W 2 2 1000w射频电源带脉冲 13.56MHz，1000W，有脉冲功能 1 3 1000w匹配器 13.56MHz，1000W 3售后及质保要求1. 交货期的要求：签订合同后天30内，具体时间根据学校要求提前7天通知送货2. 质保期：1年 查看详情>>
备注1 1000w射频电源 13.56MHz，1000W 2 2 1000w射频电源带脉冲 13.56MHz，1000W，有脉冲功能 1 3 1000w匹配器 13.56MHz，1000W 3售后及质保要求1. 交货期的要求：签订合同后天30内，具体时间根据学校要求提前7天通知送货2. 质保期：1年 查看详情>>
X330mm14、射频电源功率：最大300W，频率：13.56MHZ15、油泵：19.5CFM， 16、设备尺寸： 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米17、设备重量：221Kg18、通过样品清洗测试完成。使用March测试时使用的相同样品，能够得到相近的清洗结果，以水滴接触角测 查看详情>>
V 50/60Hz射频电源？ 射频功率可在0-500W之间调节？ 频率：13.56MHz注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机等离子腔体？ 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体？ 铝制折叠式法兰来进行真空密封？ 法兰上有一个直径为60mm的观察 查看详情>>
60*2000MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
进行测量。 10.射频电源：1台功率：500w11.*冷阴极离子源+高压电源 1台： 12.热阻蒸发舟：3组.13.控制方式：采用气动面板控制14.循环水冷却器：1台为防止恶意竞标，竞标单位须提前与申请人确认仪器参数、性能指标，达标者方可竞标，若未在竞标前沟通，则竞标无效。售后服务质量保证期:验收合 查看详情>>
60*1500MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
学研究院-离子源用射频电源（300）及匹配器单一来源采购公告一、项目概况：1、采购单位：中国原子能科学研究院2、项目名称：离子源用射频电源（300）及匹配器3、项目编号：401Y-WZ-DYCG-20-2133二、拟采购的工程、货物或服务的说明射频电源（300）带匹配器2套。要求见技术规格书。合同签 查看详情>>
CP源（上电极）、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体衬底上沉积氧化硅（SiO2）、氮化硅（SiNx）介质薄膜。具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。3、投标人资格要 查看详情>>
澄清或变更简要说明：各潜在投标人： 本项目招标产品列表变更为如下所示，其他内容均不变，请知悉！中海建 查看详情>>
r。★3.1.7 射频电源：射频电源需来自Kurt L.Lesker（RF300C）：功率不小于300W，带有自动匹配的匹配器和控制器。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者度数的+/-3%。直流电源需来自塞恩斯（DC1000E）：功率不小于1000W，有恒压、恒流和恒功率三种工作模式。3 查看详情>>
目名称：季华实验室射频电源综合平台采购三、采购公告发布时间：2019年7月23日四、开标（报价）时间：2019年8月13日14:30五、废标（终止）事项、内容及原因因通过符合性审查合格投标人不足3家，根据《中华人民共和国政府采购法》第三十六条及招标文件的相关规定，本次招标采购失败。六、废标（终止）时 查看详情>>
频电源采购项目（招标编号：0868-1846ZD532H），因本项目截止到报名时间有效投标人不足三家，经协商，相关信息延期如下：1) 投标报名时间延期至2019年2月25日17时30分（北京时间）2) 投标截止时间延期至2019年2月28日09时30分（北京时间）3) 开标时间延期至2019年2月2 查看详情>>
W 2. PE射频电源 2.1 信号频率：13.56 MHz ± 0.005% 2.2 功率输出范围：0~500W 2.3 最大反射功率：500W 2.4 射频输出接口：50 Ω， N-type， female 2.5 射频范围：整管均匀 2.6 等离子方向： 查看详情>>
是否正常工作、监测射频电源系统是否正常工作、监测真空系统是否正常工作；监视并提示本灭菌机是否需要做保养和维护；监测过氧化氢在真空室内的汽化是否良好。十七、原装进口真空腔内压力值测量工具：采用进口电容薄膜真空规管十八、报警系统：具备过程监控报警装置，可以针对影响灭菌的最关键因素—真空度、器械表面潮湿程 查看详情>>
是否正常工作、监测射频电源系统是否正常工作、监测真空系统是否正常工作；监视并提示本灭菌机是否需要做保养和维护；监测过氧化氢在真空室内的汽化是否良好。十七、原装进口真空腔内压力值测量工具：采用进口电容薄膜真空规管十八、报警系统：具备过程监控报警装置，可以针对影响灭菌的最关键因素—真空度、器械表面潮湿程 查看详情>>
