：基于双电源技术的射频电源，提供更宽的功率范围，500-1600W功率可调，具有更强的样品适应性；iStandby模式：提供超低功率待机功能，降低氩气消耗50%以上；水冷式设计，迅速散热，功率稳定性<0.1%，频率稳定性0.01%，可靠性有保证；自激式全固态ICP离子源，频率为27.12MHz 查看详情>>
格型号采购数量备注射频电源40MHz1-10Hz1.0来源及报价地址：http://zkcg.cas.cn/ 查看详情>>
频电源模块等产品环境试验配套服务询价公告 场次号/项目编号 XJ024032000202 场次名称 DGM射频电源模块等产品环境试验配套服务 商品分类 服务 采购单位 北京卫星制造厂有限公司 报价有效期 2024-03-20 11:00至2024-03-26 08:00 查看详情>>
。主要技术指标：①射频电源：最大射频功率不低于300w，0-300w之间连续可调；频率：13.56MHz；②真空腔室：容积不低于10L，铝制折叠式法兰真空密封，并有观察窗口。③真空腔室完全屏蔽射频辐射，防射频泄漏。④等离子体腔室：处理有效尺寸不低于180mm。⑤真空系统：旋片式真空泵，真空泵极限压力 查看详情>>
154mm 12、射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W无极可调。 13、电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。 14、自动匹配器。 15、RIE刻蚀方式。 16、气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。质保期：12个月供应商报名地址： 查看详情>>
置要求：1.电源为射频电源，所以中和器需在射频模式下工作，通过两电容器调节射频匹配网络的阻抗来使得中和器可以点火成功。2.发射电流在100-200mA范围内时，发射功率需达到30W；发射电流在201-600mA范围内时，发射功率需达到40W；3.绝缘保持器正常工作时间不少于200h，收集器的正常工作 查看详情>>
蚀设备，其原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。其刻蚀原理也属于广义的反应离子刻蚀。预计采购时间：2023-11备注：本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
刻蚀设备，是一种将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。预计采购时间：2023-11备注：本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 查看详情>>
膜刻蚀设备原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。等离子刻蚀技术是微细加工技术的重要组成部分，是化学过程和物理过程共同作用的结果。主要用于半导体材料微细图形干法刻蚀，可以刻蚀多种化合物。预计采购时间：2023-11备注：本次公开的采购意向 查看详情>>
程显示运行状态，如射频电源功率、工艺气体质量流量等。故障报警，提示故障项目，良好的互锁和报警功能 1）气压过低或耗尽报警 2）反应仓泄露报警 3）反射功率过大报警 4）泵热过载报警 5）控制面板处设急停按钮 8、设备环境条件： 电源：380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 气源：氮气0 查看详情>>
注 图片 采购射频电源 面议 面议 其他电源 -- -- 收货地： 北京 北京 采购类型： 全新 发票要求： 不需要发票 报价地址：报价地址 查看详情>>
2 射频电源模块 / 4台 3 信号发射接收模块 / 4个 4 数据采集卡 / 4个 5 压力传感器 / 4个 6 振动传感器 / 查看详情>>
项目名称 射频电源 申购业务号 202309060037 采购单位名称 宇航学院 成交信息 成 交 价 80000元 成交供应商 常州瑞思杰尔电子有限公司 采 购 清 单 序号 查看详情>>
VERG-300射频电源一体机采购 申购业务号 202308270004 采购单位名称 机械工程及自动化学院 成交信息 成 交 价 21000元 成交供应商 中山市酷美电子有限公司 采 购 清 单 查看详情>>
离子源系统：上电极射频电源功率：输出功率不低于3 KW； …… （详见招标文件第六章） 注： 1.标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如投标人所投货物为进口产品，其投标无效。 2.本项目共1个包，投标人只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行投标。 合同履行期限：详见 查看详情>>
2.2 配备1套射频电源，美国SEREN R301MKII，功率300 W，频率13.56 MHz，最小脉宽50μs；带ATS3型自动匹配器； 2.3 配有1套电源切换器； 2.4 电源控制集成到客户现有设备软件中； 3 提供上门安装调试，以及培训服务 4 提供2年质保质保期：24个月供应商报名地 查看详情>>
电子元件-射频电源元件 申购业务号 202306070040 采购单位名称 航空发动机研究院 成交信息 成 交 价 23006.8元 成交供应商 江苏神州半导体科技有限公司 采 购 清 单 查看详情>>
源，300W RF射频电源；3、真空能力：极限真空5 x 10-7Torr，20分钟可达到10-6Torr级别的工艺真空；4、样品台：6”不锈钢射频偏压的旋转样品台，可支持最大6”晶圆或托盘（可放置多个小片），可快速选择优化的低速3RPM和和高速10RPM，样品台最高可加热到300C；5、成膜：均匀 查看详情>>
频电源采购单位：清华大学采购数量：1计量单位：套响应品牌：Kurt Lesker响应型号：EJR601-220来源网址：点击进入 查看详情>>
， fl5.射频电源：等离子体源1000 ，1 .5 ， 源 00 ，1 .5 ， . ：电 设. 制： 可 ， ， 5 .系统：. ： ，皮拉尼 计10. 系统：分子泵机 泵11. 气体：5路 气体12.用户管 ：多级用户管 ，可定制1 .进气方式： 查看详情>>
数及配置要求：1.射频电源频率为13.56MHz,最大功率600W，功率连续可调2.反射功率低于1%的超灵敏自动匹配3.射频电源带有脉冲模式功能，脉冲频率和占空比可调4.标配2路500sccm工艺气体不锈钢质量流量控制器，模块化设计后期可扩展到7路工艺气体，4路MFC。质保期：12个月供应商报名地址 查看详情>>
频电源采购单位：北京市清华大学罗姆楼付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%签约时间要求：成交后5个工作日交货时间要求：签订合同后140个工作日交货地址：北京市清华大学罗姆楼技术参数及配置要求：1.射频功率600W，带自动匹配网络和控制器；2. 至少1个3英寸或以上靶枪；3.带RF 查看详情>>
发源。1.2 配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。1.3 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。1.4 配备自动匹配器集成 查看详情>>
发源。1.2 配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。1.3 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。1.4 配备自动匹配器集成 查看详情>>
个不小于600W的射频电源，频率13.56MHz，连接到其中一个靶枪； 射频电源采用功率控制模式，自动匹配时间3S，反射功率3W；连续溅射半个小时，输出功率波动3W。配备一个60mm口径射频离子源，配套不小于500W射频电源，可以纯氧气、氮气、氩气或者混合气体工作。 配置一个石英晶体膜厚控制器和防电 查看详情>>
等离子源：配有RF射频电源，功率不小于300W；配有LF电源，功率不小于500W。工艺腔体设备为Al制腔体，腔室带有加热内衬，带有预真空室，且配有独立干泵，样品台加热，最高温度不低于400℃。气路系统可支持至少6路气体，每路工艺气路均配置质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀。样品进样室(load 查看详情>>
3）配置500W的射频电源，自动配置，最小稳定工艺功率25W质保期：12个月供应商报名地址：点击进入 查看详情>>
1个直流电源、1个射频电源、4个溅射靶材（2个直流2个射频），适用于小碎片到4英寸衬底，成膜均匀性优于±5%，重复性±5%，基片加热温度800℃以上预计采购时间：2022-12备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。,清华大学 查看详情>>
源 台00 W射频电源 台 及电源切换器衬底加热 ：850 ，稳 性 最大基片尺寸：2 英寸两路气路，两 质量流量 水冷系统一 八 造商：深圳市矩阵多元科技 限公司 地址：深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋区6号厂房101一二楼九征求意见期限从2022年11月21 至2022 查看详情>>
频电源采购单位：清华大学采购数量：1计量单位：套响应品牌：AJA响应型号：DCX 750-4 查看详情>>
频电源采购单位：北京市清华大学理科楼物理系付款方式：100%T/T 付款，见发货单后付 90%，验收合格后支付 10%签约时间要求：成交后5个工作日交货时间要求：签订合同后80个工作日交货地址：北京市清华大学理科楼物理系技术参数及配置要求：AJA 300W 射频电源包括 1 根匹配的连接电缆（电缆长 查看详情>>
北京航空航天大学2022年12月政府采购意向-集成电路科学与工程学院8英寸介质薄膜物理气相沉积系统-A02052402真空应用设备-预算金额850.000000万元(人民币)
招标信息 | 2022-11-14丨 北京
率优于±3%；配备射频电源专用于不导电介质薄膜沉积预计采购时间：2022-12备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。,北京市 查看详情>>
面平齐；（3）配套射频电源系统（3套，含13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz，功率为500W），在电极间隙中产生稳定辉光放电；（4）上电极安装在上盖底部，尺寸：Φ300mm（可更换为φ200 mm和φ100 mm，可完成不同电极的更换）；下电极安装在底部，可以通过调节下电极高度调节电 查看详情>>
值*(±5%)7、射频电源参数：≤ (±5%)设定值8、连续自动传片无报警：>1000Cycle9、腔室温度精确性：<±5%设定值10、由于机械原因导致的气体颗粒增加：<50 ea (>0.16um)11、晶圆碎片率：<1/100012、氧化硅刻蚀速率及均匀性：> 查看详情>>
09/30否346射频电源HLJGGG20220923583军工公告-竞争性谈判公开2022/09/30否347多AMR调度控制系统HLJGGG20220923587军工公告-竞争性谈判公开2022/09/30否348mSATA固态盘竞争性谈判公告HLJGGG20220923625军工公告-竞争性谈 查看详情>>
电源≥ 2 kW,射频电源≥ 1kW，质保期：1年。预计采购时间：2022-09备注： 查看详情>>
天大学宇航学院宽带射频电源采购比价结果公示 北京航空航天大学宇航学院宽带射频电源采购项目由项目负责人通过比价方式采购，现将比价过程及结果公示如下：1. 采购名称：宽带射频电源2. 采购经办人：任军学3. 比价结果详情：序号供应商（全称）报价（万元）数量主要产品情况品牌型号性能指标1常州瑞思杰尔电子科 查看详情>>
