室门，冷却水等） 射频电源： 1. 1个功率500W自动匹配射频电源： a) 最大输出功率500W，频率13.56MHz； b) 输出采用功率控制模式； c) 自动匹配，匹配时间短，反射功率接近于0 偏压加热电动升降工件台： 直径6英寸工件台： a) 转速0-25RPM可调节； b) 转轴磁流体密封 查看详情>>
口）；（3）磁控靶射频电源（500W）和直流电源（500W）各一台；（4）三寸可旋转样加热品台，加热区间为室温到800度；（5）真空度优于8*10^-5Pa，大气至6*10^-4Pa时间小于40分钟；（6）200ml/s质量流量控制器2套，真空泵组1组，包含650L/S水冷脂润滑分子泵1台和8L/S 查看详情>>
， 750W2.射频电源功率： 0-150W 可调3.射频频率： 40KHz4.真空度：≤100Pa5.气体路数：双路6.气体流量： 0.1-1l/min(可调)7.清洗时间： 0—300秒连续可调8.内腔尺寸： Φ147mm*145mm9.外形尺寸： 452mm*380mm*225mm10.腔体 查看详情>>
， 750W2.射频电源功率： 0-150W 可调3.射频频率： 40KHz4.真空度：≤100Pa5.气体路数：双路6.气体流量： 0.1-1l/min(可调)7.清洗时间： 0—300秒连续可调8.内腔尺寸： Φ147mm*145mm9.外形尺寸： 452mm*380mm*225mm10.腔体 查看详情>>
。舱体容积：2L。射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W无极可调。电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。自动匹配器。RIE刻蚀方式。气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。工艺气体选择：Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、C 查看详情>>
500W全自动匹配射频电源1台，功率稳定度≤±0.5%，输出频率13.56MHz，频率信号为标准正弦波，输出阻抗50欧姆，承受驻波比＞3.0，通讯口RS232\RS485\标准Modebus。 8、2000W直流溅射电源1台，输入电压AC180-240V，50Hz，输出电压 : 0 - 800 V， 查看详情>>
热系统、直流电源、射频电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、介质膜等的制备。2. 极限真空度≤6.6x10-6Pa；3. 从大气开始抽气：25分钟可达到6.6x10-4 Pa；4. 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；5. 膜厚均 查看详情>>
式炉、分子泵机组、射频电源、阀门、控制系统、质量流量计、供气系统组成，具有不少于5路控制温控系统，可以加热里管路和容器内液体，不少于2路气体脉冲交替控制系统，2个石英容器与管路连接。要求售后服务不少于3年，现场培训时间不少于15天，培训人数不少于3人。1002022-11专门面向中小企业其他需要说明 查看详情>>
300W（可调）射频电源： 40KHz 配全自动电源匹配器腔体尺寸： 直径 150mm×265mm容 量： 5L （不锈钢腔体）外形尺寸： W560mmxD550mmxH400mm供电电源： AC220V真 空 度： 1-30Pa（压力表量化值显示）气体路数： 双路气体输入 气体流量：10—100 查看详情>>
300W（可调）射频电源： 40KHz 配全自动电源匹配器腔体尺寸： 直径 150mm×265mm容 量： 5L （不锈钢腔体）外形尺寸： W560mmxD550mmxH400mm供电电源： AC220V真 空 度： 1-30Pa（压力表量化值显示）气体路数： 双路气体输入 气体流量：10—100 查看详情>>
z 500W配置：射频电源一套；自动匹配一套；射频电缆1米1条；3米1条；电源线2条；数据线3米1条；阴极匹配线圈盒一套（阴极线圈适用内径为一英寸石英管）售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/03/07/20 查看详情>>
z 500W配置：射频电源一套；自动匹配一套；射频电缆1米1条；3米1条；电源线2条；数据线3米1条；阴极匹配线圈盒一套（阴极线圈适用内径为一英寸石英管）售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/03/03/20 查看详情>>
1台；4)美国AE射频电源1台：600W，自动匹配。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片工位：安装4英寸基片1片；3)基片加热：基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿 查看详情>>
1台；4)美国AE射频电源1台：600W，自动匹配。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片工位：安装4英寸基片1片；3)基片加热：基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿 查看详情>>
1台；4)美国AE射频电源1台：600W，自动匹配。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片工位：安装4英寸基片1片；3)基片加热：基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿 查看详情>>
天津市七室镀膜机射频电源维护采购分类：服务>维护维修期望报价：商议元报价企业数：0发布日期：2021-05-27截止日期：2021-06-18还剩：22天收货地址：天津市空港经济区中环西路58号立即报价组队报价联系方式数据未加载请刷新重试商品列表需求详情对象名称代号/编码需求数量计量单位要求 查看详情>>
V 50/60Hz射频电源？ 射频功率可在0-500W之间调节？ 频率：13.56MHz注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机等离子腔体？ 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体？ 铝制折叠式法兰来进行真空密封？ 法兰上有一个直径为60mm的观察 查看详情>>
V 50/60Hz射频电源？ 射频功率可在0-500W之间调节？ 频率：13.56MHz注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机等离子腔体？ 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体？ 铝制折叠式法兰来进行真空密封？ 法兰上有一个直径为60mm的观察 查看详情>>
V 50/60Hz射频电源？ 射频功率可在0-500W之间调节？ 频率：13.56MHz注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机等离子腔体？ 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体？ 铝制折叠式法兰来进行真空密封？ 法兰上有一个直径为60mm的观察 查看详情>>
60*2000MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
60*2000MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
60*2000MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
60*1500MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
60*1500MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
脉冲溅射电源、1台射频电源、1台脉冲偏压电源、旋转基片台及加热、真空系统、气路系统、水路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成。售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/09/01/20KEJDAQ4N8VUX 查看详情>>
60*1500MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V± 查看详情>>
脉冲溅射电源、1台射频电源、1台脉冲偏压电源、旋转基片台及加热、真空系统、气路系统、水路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成。售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/08/29/20KEFRFMAWIVPW 查看详情>>
A(不含真空泵)*射频电源功率： 0-150W/0-300W（出厂前选择一段）*射频频率： 40KHz或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）*频率偏移量： 小于0.2KHz*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配*真空度： 10Pa—1000Pa*气体流量： 60—600ml/min(可调)*过 查看详情>>
A(不含真空泵)*射频电源功率： 0-150W/0-300W（出厂前选择一段）*射频频率： 40KHz或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）*频率偏移量： 小于0.2KHz*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配*真空度： 10Pa—1000Pa*气体流量： 60—600ml/min(可调)*过 查看详情>>
500w全自动调谐射频电源，1台 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm 。 3 、旋转加热基片台 基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品 基片通过进口加热丝加热方式，加热炉加热温度：室温～800°C，连续可调；加热系统由加热器和1个加热控温电源组成，控温方式为PID自动控温及数 查看详情>>
2A(不含真空泵)射频电源功率： 300W射频频率： 40KHz或13.56MHz 选装（偏移量小于0.2KHz）频率偏移量： 小于0.2KHz特性阻抗： 50欧姆，自动匹配真空度： 10Pa—1000Pa气体流量： 60—600ml/min(可调)过程控制： MCU自动与手动方式清洗时间： 1-1 查看详情>>
响）一套；*16.射频电源技术要求：信号频率13.56MHz±005％，功率输出范围5W-500W，最大反射功率70W，射频输出接口50Ω，N-type,temale，功率稳定度±0.1％，谐波分量：≤-50dbc，供电电压单相交流（187V-253V)频率50/60HZ，整机功率≥70％，屏幕显示 查看详情>>
13.56MHz射频电源 品牌：科晶 型号：500W对所投产品提供1年的免费上门保修。批1.08.668.66三、评标委员会成员名单王庆祥，肖志国 顾永超 四、项目联系人及联系方式1.联系人： 左晓靖2.联系电话：022-24213608五、采购人的名称、地址和联系方式1.采购人名称：天津理工大学 查看详情>>
13.56MHz射频电源一个。具体内容及要求详见项目需求书，本项目不接受进口产品投标。包号采购目录简要技术要求预算(万元) 第1包其他专用仪器仪表25 第2包其他专用仪器仪表26 第3包其他专用仪器仪表8.7 三、项目预算59.7万元四、项目需要落实的政府采购政策促进中小企业发展促进中小企业发展明 查看详情>>
300ml/s3、射频电源: 进口元器件(13.56MHZ), 西门子IGBT,输出功率：300W4、真空泵: 抽速4升每秒5、托盘1层电极板,电极型式: 平板电极,6、工作真空度：9-30Pa(显示真空计,松下,0-101.2kpa)台1原文件：第四包：振荡培养箱 序号设备名称技术指标单位数量1振 查看详情>>
四极杆质量过滤器及射频电源系统项目结果公示发布时间：2016年11月28日天津大学纳米中心四极杆质量过滤器及射频电源系统项目(TDZC2016J0320)至开标时止，只有两家递交了投标文件且经谈判小组认定，采购文件中并无歧视性条款且该公司资质均符合采购文件要求。鉴于上述情况变更采购方式，采用单一来源 查看详情>>
四极杆质量过滤器及射频电源系统项目竞争性磋商公告(TDZC2016J0320)发布时间：2016年11月16日天津大学就天津大学纳米中心四极杆质量过滤器及射频电源系统项目进行竞争性磋商，现邀请合格投标人参加磋商。一、项目名称：天津大学纳米中心四极杆质量过滤器及射频电源系统项目（项目编号：TDZC20 查看详情>>
两套直流电源，一套射频电源，一套直流偏压电源；9. 充气系统：配置三路供气气路；10. 循环冷却水路：冷却水路分配器一套；配水压表一只；11. 电气控制系统：1套12. 相关备件：（1）相关规格的金属密封铜圈，氟橡胶密封圈： 全套；（2）不锈钢紧固螺栓、螺母、垫片等： 全套。13. 相关技术资料（包 查看详情>>
作气路1套；5. 射频电源1套；6. 直流电源2套；7. 直流偏压电源1套；8. 计算机控制系统1套；9. 水冷系统1套。二、技术指标：*1. 溅射真空室组件：极限真空度≤6x10-5Pa (经烘烤除气后)，系统真空检漏率≤5.0x10-7 Pa.l/S，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选 查看详情>>
mm*2 等离子体射频电源 输出功率50-500W最大可调±1%的稳定性；RF频率13.56MHz的±0.005%稳定可调；噪声≤55DB*3 真空泵和阀门 采用KF25系列波纹管和精密球阀连接；真空度可达10-1Pa；适合H2、CH4、C2H2、Ar和NH4等多种混合气氛使用的防腐型数字真空压力表 查看详情>>
